[发明专利]一种用于直拉炉与真空泵之间的油滤式空气过滤器无效
申请号: | 201510099512.2 | 申请日: | 2015-03-06 |
公开(公告)号: | CN104696200A | 公开(公告)日: | 2015-06-10 |
发明(设计)人: | 姚长娟;高树良;张学强;杨明;李宇佳;靳立辉 | 申请(专利权)人: | 天津中环半导体股份有限公司 |
主分类号: | F04B39/16 | 分类号: | F04B39/16 |
代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 王凤英 |
地址: | 300384 天津市滨海新区新*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 直拉炉 真空泵 之间 油滤式 空气 过滤器 | ||
1.一种用于直拉炉与真空泵之间的油滤式空气过滤器,其特征在于:包括装有油液的过滤罐(1),在过滤罐(1)内的油液面上方设置两层金属过滤网,两层金属过滤网通过垂直固定杆(4)固定在过滤罐(1)的上盖(1.1)内表面中心位置,过滤罐(1)的一侧面设有进气口(5),过滤罐(1)的上盖(1.1)分别设有出气口(6)和液位观察口(7),过滤罐(1)的罐底(1.2)设有排污口(8),其中进气口(5)通过气管接头与直拉炉连接,出气口(6)通过气管接头与真空泵连接,排污口(8)通过气管接头装有阀门。
2.根据权利要求1所述的一种用于直拉炉与真空泵之间的油滤式空气过滤器,其特征在于:所述的两层金属过滤网,其上层为细金属过滤网(2),下层为粗金属过滤网(3)。
3.根据权利要求2所述的一种用于直拉炉与真空泵之间的油滤式空滤器,其特征在于:所述的细金属过滤网(2)的目数为10;粗金属过滤网(3)的目数为4。
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