[发明专利]一种用于直拉炉与真空泵之间的油滤式空气过滤器无效

专利信息
申请号: 201510099512.2 申请日: 2015-03-06
公开(公告)号: CN104696200A 公开(公告)日: 2015-06-10
发明(设计)人: 姚长娟;高树良;张学强;杨明;李宇佳;靳立辉 申请(专利权)人: 天津中环半导体股份有限公司
主分类号: F04B39/16 分类号: F04B39/16
代理公司: 天津中环专利商标代理有限公司 12105 代理人: 王凤英
地址: 300384 天津市滨海新区新*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 直拉炉 真空泵 之间 油滤式 空气 过滤器
【权利要求书】:

1.一种用于直拉炉与真空泵之间的油滤式空气过滤器,其特征在于:包括装有油液的过滤罐(1),在过滤罐(1)内的油液面上方设置两层金属过滤网,两层金属过滤网通过垂直固定杆(4)固定在过滤罐(1)的上盖(1.1)内表面中心位置,过滤罐(1)的一侧面设有进气口(5),过滤罐(1)的上盖(1.1)分别设有出气口(6)和液位观察口(7),过滤罐(1)的罐底(1.2)设有排污口(8),其中进气口(5)通过气管接头与直拉炉连接,出气口(6)通过气管接头与真空泵连接,排污口(8)通过气管接头装有阀门。

2.根据权利要求1所述的一种用于直拉炉与真空泵之间的油滤式空气过滤器,其特征在于:所述的两层金属过滤网,其上层为细金属过滤网(2),下层为粗金属过滤网(3)。

3.根据权利要求2所述的一种用于直拉炉与真空泵之间的油滤式空滤器,其特征在于:所述的细金属过滤网(2)的目数为10;粗金属过滤网(3)的目数为4。

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