[发明专利]基于真空室的真空紫外光源测试系统

权利要求书

1.一种基于真空室的真空紫外光源测试系统，其特征在于：包括一个真空室、真空泵、紫外辐射测试设备和灯架，其中：

所述的真空室用金属材料制成，形状为圆柱体或圆台；真空室的内表面进行黑化处理；真空室的门是球冠或抛物面形状；真空室装配有若干个法兰、一个充气阀、一个放气阀；

真空室通过一法兰与真空泵连接；

真空室的充气阀通过管道与压缩气体钢瓶或气体源管道相连，用于向真空室内填充高纯氮气、氩气不吸收紫外和真空紫外的气体；

所述紫外辐射测试设备包括若干紫外辐照度计、光纤、真空单色仪；

所述灯架位于真空室内，为固定式或旋转式，可将多根线形光源依次旋转对准探头和光纤。

2.按照权利要求1所述的基于真空室的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的真空室装配有观察窗口，窗口材料是能耐受1个大气压强负压的紫外截止型石英玻璃、硬质玻璃或钢化玻璃。

3.按照权利要求1或2所述的基于真空室的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述真空室装配有测量低真空度的电阻规、测量高真空度的电离规和测量水蒸气、氧气含量的探头。

4.按照权利要求3所述的基于真空室的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述真空室的法兰用于装配若干多芯航空插头，从而实现真空室内外的电连接。

5.按照权利要求4所述的基于真空室的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述真空室的一法兰封装恒温水浴的水管，从而控制真空室内的紫外光源的冷端温度。

6.按照权利要求1、2、4或5所述的基于真空室的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的真空室设有若干个探测窗口，窗口外侧放置紫外辐照度计的探头或配有光纤；测量波长200 nm以下的真空紫外辐射时，探测窗口的材料采用氟化镁晶体，探头或光纤与窗口之间抽真空或者保持氮气或氩气氛围；测量波长200 nm以上的紫外辐射时，窗口材料是石英玻璃，探头或光纤周围处于常温常压的大气中。

7.按照权利要求1、2、4或5所述的基于真空室的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的真空室设有若干个闸板阀探测口,探测口与紫外辐照度计探头或光纤之间填充氮气或氩气；测量时打开闸板阀，真空紫外光直接照射到探头或光纤头。

8.按照权利要求1、2、4或5所述的基于真空室的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的真空室内表面的黑化处理是涂覆下述吸光材料之一种：耐真空紫外辐照的黑漆、碳化硅粉、银粉或纳米碳管。

9.按照权利要求1、2、4或5所述的基于真空室的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的光纤头前安装有余弦校正片、准直透镜光学器件。

10.按照权利要求1、2、4或5所述的基于真空室的真空紫外光源测试系统，其特征在于：所述的真空室直接跟真空单色仪的入射缝法兰连接，组成联合测试系统，同时测定真空紫外光源的相对光谱功率分布、绝对辐射功率和辐射效率。