[发明专利]用于平衡真空泵转子或真空泵旋转单元转子的方法

权利要求书

1.一种用于平衡真空泵(10)特别是涡轮分子泵转子(16)或真空泵(10)，特别是平衡涡轮分子泵旋转单元(26)转子的方法，其中，转子(16)借助至少一个磁性轴承(44)特别是永磁轴承，相对于真空泵(10)或旋转单元(26)的定子，以环绕旋转轴(30、30')可旋转地被支承，其中，该方法包括以下步骤：测量特别是磁性轴承(44)平面(E3)上转子(16)的不平衡，并根据不平衡的情况移动并调节旋转轴(30、30')的位置。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，旋转轴(30、30')的位置被移动并调节，以使旋转轴(30、30')至少在磁性轴承平面(E3)上与转子(16)的主惯性轴线(80)至少接近重合，和/或旋转轴(30、30')的位置被移动并调节，以使不平衡得到减少，其中，优选为将旋转轴移至使转子(16)的剩余不平衡达到最小化的最佳位置。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，特别是借助平衡算法确定转子(16)不平衡最小化时旋转轴的最佳位置并随后将旋转轴(30、30')移至最佳位置，和/或根据旋转轴(30、30')位置和/或主惯性轴线(80)位置的情况，通过特别是通过在其形状和/或其材料专有的磁性特性方面改变磁性轴承(44)，特别是在磁性轴承平面(E3)上移动并调节旋转轴(30、30')的位置。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据旋转轴(30、30')的位置与主惯性轴线(80)的位置偏差(Δρ)的情况，特别是在形状和/或材料专有的磁性特性方面改变磁性轴承(44)，其中，优选地，偏差(Δρ)按照量和方向确定。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，为移动并调节旋转轴(30、30')的位置，从磁性轴承(44)的至少一个永久磁铁(48、52)上去除材料，特别是最好通过从磨削、钻孔、铣削和车削组中选取的切削方法来去除材料。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，为移动并调节旋转轴(30、30')的位置，磁性轴承(44)的至少一个永久磁铁(48、52)至少在一个区域(74)内至少部分被消磁。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，该区域(74)通过加热，以达到高于能够使至少部分永久磁铁(48、52)持续失去其磁性特性的温度而实现消磁，和/或该区域(74)通过利用激光辐射的照射加热。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在移动并调节之前确定特别是磁性轴承平面(E3)上旋转轴(30、30')的位置和/或主惯性轴线(80)的位置，其中，优选地，主惯性轴线(80)的位置根据所测量的不平衡情况来确定。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在该方法中，测量至少一个平面(E2)上，特别是测量磁性轴承(44)平面(E3)外的平面(E2)上转子(16)的不平衡，不平衡是通过特别是通过在磁性轴承平面(E3)外的平面(E2)上切除转子(16)的材料和/或通过加入特别是拧入至少一个配重而至少接近消除，其中，优选地，材料借助激光辐射切除，特别是在转子(16)旋转期间，最好是在不平衡测量期间或过程中。

10.真空泵(10)特别是涡轮分子泵，或真空泵(10)的特别是涡轮分子泵的旋转单元(26)，具有转子(16)，该转子借助至少一个磁性轴承(44)特别是永磁轴承，相对于真空泵(10)或旋转单元(26)的定子，以环绕旋转轴(30、30')可旋转地被支承，其中，旋转轴(30、30')的位置被移动并调节，以使旋转轴(30、30')至少在磁性轴承的平面(E3)上与转子(16)的主惯性轴线(80)至少接近重合。