[发明专利]位置敏感型智能气足

权利要求书

1.一种位置敏感型智能气足，其特征在于，它包括封气板(1)、气足基板(2)、紧固件(3)、处理电路板(4)、光电位置敏感器(5)、N个节流嘴(6)和两个O型密封圈(7)，N＝3,4,5,6,7,8,9；

封气板(1)和气足基板(2)通过紧固件(3)连接在一起；

气足基板(2)的上表面上设置有环形气腔(2-1)，上表面为与封气板(1)相连接的表面，气足基板(2)的下表面上均匀设置有N个气流通孔(2-2)，每个气流通孔(2-2)与环形气腔(2-1)相连通，N个气流通孔(2-2)的中轴线分别对应于环形气腔(2-1)的中心；每个气流通孔(2-2)的底端过盈配合一个节流嘴(6)；环形气腔(2-1)的内环侧和外环侧分别通过一个设置于封气板(1)和气足基板(2)之间的O型密封圈(7)密封；

气足基板(2)的中心位置设置有上空腔和下空腔，上空腔和下空腔相连通，上空腔内放置处理电路板(4)，下空腔内放置光电位置敏感器(5)；

光电位置敏感器(5)用于敏感其本身相对于气浮平台运动产生的位移量，并对所述位移量进行处理，输出运动位移增量；

处理电路板(4)用于对光电位置敏感器(5)输出的运动位移增量进行处理，并输出所述气足相对于气浮平台(8)的位移量。

2.根据权利要求1所述的位置敏感型智能气足，其特征在于，光电位置敏感器(5)由光学传感器和图像处理芯片组成；处理电路板(4)包括数字处理芯片和总线接口芯片；

光学传感器采集当前位置气浮平台(8)的光学图像，并将光学图像转换为数字图像后传递给图像处理芯片，图像处理芯片将相邻两次获得的数字图像做差获得运动位移增量；

数字处理芯片对所述运动位移增量进行积分获得当前气足相对于气浮平台(8)的运动位移，总线接口芯片再将所述运动位移转换为总线形式位移量，由此获得所述气足相对于气浮平台(8)的位移量。

3.根据权利要求2所述的位置敏感型智能气足，其特征在于，处理电路板(4)还包括电源芯片，

电源芯片用于为光学传感器、图像处理芯片、数字处理芯片和总线接口芯片供电。