[发明专利]低温泵及低温泵的再生方法

说明书

本申请主张基于2014年3月18日申请的日本专利申请第2014-054441号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种低温泵及低温泵的再生方法。

背景技术

低温泵是将气体分子通过冷凝或吸附捕捉于冷却成超低温的低温板上而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路制造工艺等中所要求的清洁的真空环境。低温泵是所谓气体捕集式真空泵，因此需要定期进行向外部排出已捕捉的气体的再生。

专利文献1：日本特开2001-123951号公报

专利文献2：日本特开平2-252982号公报

发明内容

本发明的一种实施方式的例示性目的之一为在低温泵的再生中使低温泵有效地升温。

根据本发明的一种实施方式，提供一种低温泵，其具备：低温板；低温泵容器，容纳所述低温板；排气阀，设置于所述低温泵容器内且用于向所述低温泵容器供给吹扫气体；与上述吹扫气体不同的热源，用于加热所述低温板；控制部，控制低温泵的再生。所述控制部构成为执行以下工序：打开所述排气阀，使吹扫气体供给所述低温泵容器，以使所述低温板加热至高于水的融点的第1温度域；当低温板温度处于所述第1温度域时，关闭所述排气阀，停止向所述低温泵容器供给所述吹扫气体；及控制所述热源，使所述低温板从所述第1温度域加热至高于吹扫气体温度的第2温度域。

根据本发明的一种方式，提供一种低温泵的再生方法。本方法具备如下工序：向低温泵供给吹扫气体以使低温板加热至高于水的融点的第1温度域；当低温板温度处于所述第1温度域时，停止向低温泵供给吹扫气体；将所述低温板从所述第1温度域加热至高于吹扫气体温度的第2温度域。

根据本发明，能够在低温泵的再生中使低温泵有效地升温。

附图说明

图1是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的低温泵的图。

图2是用于说明本发明的一种实施方式所涉及的再生方法的流程图。

图3是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的低温泵的图。

图4是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的再生顺序的图。

图中：10-低温泵，16-制冷机，18-低温低温板，19-高温低温板，20-第1冷却台，21-第2冷却台，30-放射屏蔽件，31-屏蔽件开口端，32-入口低温板，38-壳体，72-粗抽阀，74-排气阀，90-第1温度传感器，92-第2温度传感器，94-压力传感器，96-板温度传感器，100-控制部。

具体实施方式

以下参考附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在说明中对相同元素标注相同符号，并适当省略重复说明。并且，以下所述结构为示例，并不限定本发明的范围。

图1是示意地表示本发明的一种实施方式所涉及的低温泵10的图。低温泵10例如安装于离子注入装置或溅射装置等的真空腔室以用于将真空腔室内部的真空度提高至所期望的工艺中要求的水平。

低温泵10具有用于接收气体的吸气口12。吸气口12是朝向低温泵10的内部空间14的入口。应排出的气体从安装有低温泵10的真空腔室通过吸气口12进入低温泵10的内部空间14。

另外，以下为了通俗易懂地表示低温泵10的构成要件的位置关系，有时使用“轴向”、“径向”这样的术语。轴向表示通过吸气口12的方向，径向表示沿吸气口12的方向。为方便起见，有时将在轴向上相对靠近吸气口12的方向称为“上”，相对远离吸气口12的方向称为“下”。即，有时将相对远离低温泵10的底部的方向称为“上”，相对靠近低温泵10的底部的方向称为“下”。关于径向，有时将靠近吸气口12的中心的方向称为“内”，靠近吸气口12的周边的方向称为“外”。另外，这种表达与低温泵10安装于真空腔室时的配置没有关系。例如，低温泵10可以以吸气口12沿铅垂方向朝下的方式安装于真空腔室。

低温泵10具备低温低温板18及高温低温板19。而且，低温泵10具备冷却高温低温板19及低温低温板18的冷却系统。该冷却系统具备制冷机16及压缩机36。

制冷机16是例如吉福德-麦克马洪式制冷机(所谓GM制冷机)等超低温制冷机。制冷机16是具备第1冷却台20、第2冷却台21、第1缸体22、第2缸体23、第1置换器24及第2置换器25的2级式制冷机。因此，制冷机16的高温级具备：第1冷却台20、第1缸体22及第1置换器24。制冷机16的低温级具备：第2冷却台21、第2缸体23及第2置换器25。