[发明专利]感测装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种感测装置，且特别是涉及一种光学感测装置。

背景技术

在现今的光学感测装置中，架构上主要包括驱动薄膜晶体管(driving thin film transistor，driving TFT)、存储电容(storage capacitor，Cst)、夹在上层透明电极层与下层不透明金属层之间的纳米管芯光感测器，以及读出薄膜晶体管(readout TFT)。此架构用于指纹扫描时，能够呈现完整指纹图案。

光学感测装置的影像感测品质与信号本身以及噪声影响程度有相当密切的关联性。更详细而言，影像噪声来源之一为热噪声，而热噪声与数据线上的寄生电容以及金属阻抗相关。当寄生电容较大时，热噪声也会跟着放大，因而降低所感测到的影像品质。

发明内容

本发明的目的在于提供一种感测装置，其可以低数据线与扫描线上的寄生电容，以改善热噪声等影像噪声来源。

为达上述目的，本发明的感测装置包括多条扫描线、多条数据线、多个主动元件以及多个感应单元，扫描线以及数据线于基板上定义出多个区域。每一主动元件与其中一条扫描线以及其中一条数据线电连接。每一个感应单元对应设置在一个区域内且与其中一个主动元件电连接。每一感应单元包括第一电极、位于第一电极上方且与第一电极之间具有绝缘层的第二电极、位于第二电极上的光感应层以及位于光感应层上的第三电极，其中第二电极与主动元件电连接。感测装置还包括位于相邻的感应单元的第一电极之间，以使相邻的两个感应单元的第一电极连接在一起的第一连接图案，以及位于相邻的感应单元的第三电极之间的第二连接图案。第二连接图案与主动元件重叠设置，并且连接两相邻的感应单元的第三电极。

本发明的感测装置包括多条扫描线、多条数据线以及多个主动元件，扫描线以及数据线于基板上定义出多个区域，其中每一主动元件与其中一条扫描线以及其中一条数据线电连接。感测装置还包括第一感应单元、第二感应单元、第三感应单元以及第四感应单元，分别对应设置在其中一个区域内且与其中一个主动元件电连接。第一感应单元、第二感应单元、第三感应单元以及第四感应单元构成2×2阵列，且各自包括第一电极、位于第一电极上方且与第一电极之间具有绝缘层的第二电极、位于第二电极上的光感应层以及位于光感应层上的第三电极，其中第二电极与主动元件电连接。感测装置还包括连接第一感应单元的第一电极与第二感应单元的第一电极的第一连接图案，以及连接第一感应单元的第三电极、第二感应单元的第三电极与第三感应单元的第三电极的第二连接图案，其中第二连接图案与主动元件重叠设置。

基于上述，本发明的感测装置具有第一连接图案与第二连接图案。第一连接图案是用来连接相邻的两个感应单元的第一电极，而第二连接图案是用来连接两相邻的感应单元的第三电极。第二连接图案与第三电极属于同一膜层并与主动元件重叠设置。故在主动元件区以外的数据线与扫描线上不存在第三电极。因此，能够有效地降低数据线与扫描线上的寄生电容，改善热噪声等影像噪声来源，以进一步提升感测影像品质。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附的附图作详细说明如下。

附图说明

图1为本发明一实施例的感测装置的上视示意图；

图2A、3A、4A、5A、6A为本发明一实施例的感测装置的制作方法的流程上视图；

图2B、3B、4B、5B、6B为本发明一实施例的感测装置的制作方法的流程剖视图；

图7为本发明一实施例的第三电极的上视示意图；

图8为本发明另一实施例的第三电极的上视示意图；

图9为图6A切线B-B’的剖面示意图；

图10为图6A切线C-C’的剖面示意图。

符号说明

10：感测装置

100：基板

102、202、302、402：第一电极

104：绝缘层

106、206、306、406：第二电极

110、210、310、410：光感应层

112、212、312、412：第三电极

CH1、CH2、CH3、CH4：通道层

D1、D2、D3、D4：漏极

DL0、DL1、DL2：数据线

G1、G2、G3、G4：栅极

H：间距

M：遮蔽电极

OP：开口

P1：第一连接图案

P2、P2a：第二连接图案