[发明专利]一种硒蒸汽的制备装置及制备方法

权利要求书

1.一种硒蒸汽的制备装置，其特征在于，包括底座、设于所述底座上的箱体、设于所述箱体内的硒固体加热装置，所述箱体上设置有一用于抽真空用的排气口及一用于向所述箱体内填充氮气的进气口；所述硒固体加热装置包括具有内腔的加热罐、均匀缠绕于所述加热罐外壁上的加热丝，所述硒蒸汽的制备装置还包括与所述加热罐的内腔相连通的硒蒸汽应用模块，所述加热罐上设有一第一控制阀，以控制所述加热罐与所述硒蒸汽应用模块之间的通断状态；所述加热罐上连通有一用于向所述加热罐内填充氮气的进气管，所述加热罐上还设置有一第二控制阀，以控制所述进气管与所述加热罐的通断状态；所述加热罐和所述硒蒸汽应用模块通过通气导管连通；所述加热罐内设置竖直导管，所述竖直导管的一端与所述通气导管连通。

2.如权利要求1所述的硒蒸汽的制备装置，其特征在于，所述通气导管包括内管和套设于所述内管上的外管，所述内管和所述外管之间夹设有加热丝；所述进气管的结构和所述通气导管的结构相同。

3.如权利要求1所述的硒蒸汽的制备装置，其特征在于，所述加热罐包括采用陶瓷制作的内胆和套设于所述内胆上的不锈钢外层。

4.如权利要求1至3任一项所述的硒蒸汽的制备装置，其特征在于，所述第一控制阀和所述第二控制阀均设于所述加热罐的顶部，且所述第一控制阀和所述第二控制阀的外侧套设有用于加热所述第一控制阀和所述第二控制阀的加热丝，以用于加热所述第一控制阀和所述第二控制阀。

5.一种硒蒸汽的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

a、提供一如权利要求1至4任一项所述的硒蒸汽的制备装置，初始化所述硒蒸汽的制备装置，确保各仪器仪表初始化读数正常，并确保所述加热罐的内腔中有足够的硒固体；

b、通过所述排气口对所述箱体的内腔抽真空，并通过所述进气口向所述箱体的内腔中填充氮气至超过一个大气压，并将所述箱体内氮气流量调到最小，保持所述加热罐的周围有氮气保护及箱体内的氮气不与外界发生气流交换；

c、打开所述第一控制阀，此时所述加热罐与所述硒蒸汽应用模块保持相连通状态，利用外部的真空泵或所述硒蒸汽应用模块所包含的真空泵将所述加热罐、所述硒蒸汽应用模块及所述加热罐与所述硒蒸汽应用模块之间的连通通道均抽至低真空状态，然后利用所述进气管向所述加热罐内填充氮气至气压为800至1000Torr，或者利用所述硒蒸汽应用模块所包含的充氮气装置向所述加热罐内填充氮气至气压为800至1000Torr；

d、关闭所述第一控制阀，以隔断所述加热罐与所述硒蒸汽应用模块之间的连通；

e、开启控制所述加热罐外侧的发热丝的热源控制装置，并设定蒸发温度与时间，加热所述硒固体使其蒸发成硒蒸汽；启动所述通气导管的加热丝的加热控制装置，并设定加热温度，所述通气导管的设定加热温度高于所述加热罐外侧的加热丝的设定蒸发温度；开启控制所述第一控制阀和所述第二控制阀的外侧的发热丝的热源控制装置，并设定加热温度；

f、待所述硒蒸汽蒸发完全并达到饱和蒸汽压后，开启所述第一控制阀使所述加热罐内的硒蒸汽导入所述硒蒸汽应用模块。

6.如权利要求5所述的硒蒸汽的制备方法，其特征在于，所述f步骤之后，还可包括以下步骤：

g、待所述加热罐与所述硒蒸汽应用模块之间的压力达到平衡后，操作者可开启所述第二控制阀，并设定导入氮气流量，此时被加热后的氮气会进入所述加热罐内，并携带一定比例的硒蒸汽继续通过所述第一控制阀持续进入所述硒蒸汽应用模块内，以达到向所述硒蒸汽应用模块内持续恒定补充硒蒸汽的目的。

7.如权利要求5所述的硒蒸汽的制备方法，其特征在于，所述b步骤中,在向所述箱体内填充氮气后,所述箱体内的气压值为780Torr。

8.如权利要求5所述的硒蒸汽的制备方法，其特征在于，所述e步骤中，所述加热罐的设定蒸发温度为450度，设定蒸发时间为30分钟。

9.如权利要求5所述的硒蒸汽的制备方法，其特征在于，所述e步骤中，所述通气导管的设定加热温度至少为480度。