[发明专利]一种晶圆片测试数据处理方法及装置有效
| 申请号： | 201510105709.2 | 申请日： | 2015-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN106033210B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 詹祥宇 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/18 | 分类号： | G05B19/18;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片 测试 数据处理 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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