[发明专利]磁控管组件及磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201510108417.4 | 申请日： | 2015-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN106032569B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 武学伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控管 组件 磁控溅射 设备 | ||
【说明书】：
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