[发明专利]一种多功能真空校准装置在审
| 申请号： | 201510110003.5 | 申请日： | 2015-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN104748911A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 欧雷;李泞;魏开利;孟萁;李翔;辛立正;张勇健;卫婧逸 | 申请（专利权）人： | 成都飞机工业（集团）有限责任公司;成都国光电气股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610092*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 真空 校准 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多功能真空校准装置，其特征在于，包括抽气机组、高真空单元、低真空单元、检漏单元，低真空单元通过阀门和管路与抽气机组连接，高真空单元通过阀门和管路与抽气机组连接，检漏单元通过阀门和管路与抽气机组连接。
2.权利要求1所述一种多功能真空校准装置，其特征在于，所述抽气机组包括干泵、分子泵和复合真空计。
3.权利要求1所述一种多功能真空校准装置，其特征在于，所述低真空单元包括低真空室、标准电容薄膜真空计、标准漏孔，低真空室分别与抽气机组、标准电容薄膜真空计、标准漏孔和气瓶连接，且低真空室通过微调阀与气瓶连接。
4.权利要求1所述一种多功能真空校准装置，其特征在于，所述高真空单元包括高真空室、标准电离真空计、四极质谱计和气室，高真空室分别与抽气机组、标准电离真空计、四极质谱计和气室连接。
5.权利要求1所述一种多功能真空校准装置，其特征在于，所述检漏单元为检漏模块，检漏模块与抽气机组连接。
6.权利要求1所述一种多功能真空校准装置，其特征在于，所述干泵(14)安装于滑动式导轨上。
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