[发明专利]质量负载科里奥利振动陀螺仪

权利要求书

1.一种用于振动传感器的质量负载谐振器(100)，包括：

共基极(104)，其具有顶面(104A)、底面(104B)和多个侧面(104C)；

多个弯曲部(102)，其附接至所述共基极(104)，并在所述质量负载谐振器(100)静置时与所述共基极(104)的顶面(104A)的法向(105)大致垂直地突出，其中所述多个弯曲部(102)具有的厚度实质上小于所述共基极(104)的厚度；和

多个电极，其附接至所述共基极(104)，其中所述多个弯曲部(102)构造成在所述多个电极被施加至少一个电场时，将所述质量负载谐振器(100)激励为两种简并模式。

2.如权利要求1所述的质量负载谐振器(100)，其中，所述多个弯曲部(102)附接至顶板，并且其中所述顶板附接至所述共基极(104)。

3.一种用于制造质量负载谐振器的方法，包括：

使用第一蚀刻方法在材料中构造多个弯曲部(402)；以及

使用第二蚀刻方法根据所述构造释放所述多个弯曲部(404)；

使用第三蚀刻方法来构造共基极，其中所述共基极具有顶面、底面和多个侧面，并且其中所述共基极具有的厚度实质上大于所述多个弯曲部的厚度，并且其中所述多个弯曲部附接至所述共基极，并在所述质量负载谐振器静置时与所述共基极的顶面的法向大致垂直地突出(406)；以及

使用第四蚀刻方法根据所述构造释放所述共基极(408)。