[发明专利]角位移单频激光干涉仪非线性误差修正方法及装置有效
| 申请号： | 201510111172.0 | 申请日： | 2015-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN104748671B | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 胡鹏程;朱静浩;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 位移 激光 干涉仪 非线性 误差 修正 方法 装置 | ||
1.一种角位移单频激光干涉仪非线性误差修正方法，其特征在于：所述方法步骤如下：
(1)打开角位移激光干涉仪，位于两路测量光束上的光开关Sm1、Sm2同时切换至打开状态；稳频激光器发射激光，被偏振分光棱镜分离，反射光束经过直角反射镜反射后与透射光束相互平行，两路光束都先后通过1/4波片、光开关，再经反射镜反射后返回，再次通过1/4波片后，偏振态被旋转90°后，入射偏振分光棱镜；从偏振分光棱镜出射的正交的水平与垂直偏振的偏振光被四通道探测系统分离为相位依次相差π/2的相干光；
(2)使Sm1切换至打开状态，同时Sm2切换至关闭状态；此时光开关Sm2所对应的测量光束被阻断，光开关Sm1所对应的测量光束正常通过原光路照射四路探测器产生光电流信号，存储四路探测器的强度信号Im11、Im12、Im13、Im14；
(3)使Sm2切换至打开状态，同时Sm1切换至关闭状态；此时光开关Sm1所对应的测量光束被阻断，光开关Sm2所对应的测量光束正常通过原光路照射四路探测器产生光电流信号，存储四路探测器的强度信号Im21、Im22、Im23、Im24；
(4)使两个光开关Sm1、Sm2再次同时切换至打开状态，此时两路测量光束皆可正常通过光开关Sm1、Sm2，角位移单频激光干涉仪正常工作，完成对目标角位移的测量；此时四路探测器上的信号为直流信号和交流信号的叠加，存储探测器输出的相干信号I1、I2、I3、I4；
(5)对存储的四路探测器的强度信号和输出的相干信号做如下运算
可去除四通道角位移单频激光干涉仪中各通道的直流分量，矫正幅值比，获得无直流偏置误差的等幅值正交信号；激光器输出激光波长用λ表示，空气折射率为n，两路测量光束在目标上的间距为Ld，进而可求得被测目标的角位移值为：
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