[发明专利]一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构有效

专利信息
申请号: 201510114510.6 申请日: 2015-03-16
公开(公告)号: CN104674336B 公开(公告)日: 2017-02-22
发明(设计)人: 黄永恩;任丙彦;李世杰;范全东;武哲 申请(专利权)人: 宁晋赛美港龙电子材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙)13115 代理人: 刘闻铎
地址: 055550 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉重掺单晶 生产过程 籽晶 牵引 机构
【权利要求书】:

1.一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构,牵引机构包括由均为圆柱体结构的软轴(11)、连接杆(12)、重锤(13)及卡楔(14)按照由上到下的顺序连接而成的提升装置,连接杆(12)的直径大于软轴(11)且小于重锤(13),卡楔(14)的直径小于重锤(13),籽晶(16)与卡楔(14)连接固定,其特征在于:所述的提升装置的外部设置有除杂装置,除杂装置包括除杂桶(1)、除杂碗(2)及定位机构,除杂桶(1)内壁固定设置有多个环形的阻尘台,阻尘台包括环形的阻尘板(3)及与其内侧固定的竖直筒状的阻尘栅(4),最下端的阻尘台中阻尘栅4的内壁直径小于卡楔(14)的外径且大于籽晶(16)的外径,其他阻尘台的内壁与提升装置中所对应部位的外壁接触配合;除杂碗(2)包括底部带有支撑台(5)的储尘槽(6)及固定于储尘槽(6)下端的筒状的定位桶(7),储尘槽(6)为上端面向外倾斜扩张的环形槽,定位桶(7)外侧面和支撑台(5)下端面分别与除杂桶(1)内侧面和上端面接触配合;定位机构位于除杂桶(1)上部且将除杂装置和提升装置固定定位。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构,其特征在于:所述的卡楔(14)在中轴处设置有与籽晶(16)外轮廓相配合的安装孔,籽晶(16)通过安装孔与卡楔(14)连接,卡楔(14)与籽晶(16)的交界处设置有水平的定位孔,定位孔中设置有卡头(15)将籽晶(16)和卡楔(14)定位固定。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构,其特征在于:所述的定位机构包括除杂桶(1)侧壁上两对关于直径对称的水平的贯穿孔(8)及与每对贯穿孔(8)相配合的定位杆(9),贯穿孔(8)的直径大于定位杆(9)的直径,提升装置中重锤(13)上端面位于定位杆(9)下方,两个定位杆(9)之间的距离大于连接杆(12)的直径且小于重锤(13)的直径。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构,其特征在于:所述的定位杆(9)两端设置有与所对应的贯穿孔(8)相对应的定位槽(10)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构,其特征在于:所述的筒状的阻尘栅(4)的内壁为竖直的圆柱形,阻尘栅(4)的外壁由上到下的顺序向外倾斜。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构,其特征在于:所述的阻尘栅(4)的外壁最上端与内壁最上端交叉连接。

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