[发明专利]一种类石墨薄膜基透明导电玻璃及其大面积可连续生产的方法在审
申请号: | 201510114519.7 | 申请日: | 2015-03-16 |
公开(公告)号: | CN104658642A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
发明(设计)人: | 黄华凛;苗蕾;刘呈燕;周建华;麦密辉;柳锡运 | 申请(专利权)人: | 广东迪奥应用材料科技有限公司 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B13/00 |
代理公司: | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人: | 王少强;黄培智 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 种类 石墨 薄膜 透明 导电 玻璃 及其 大面积 连续生产 方法 | ||
1.一种类石墨薄膜基透明导电玻璃,其特征在于:该类石墨薄膜基透明导电玻璃包括基材,以及基材上面依次制备的黏结层、金属催化层和类石墨层。
2.如权利要求1所述的类石墨薄膜基透明导电玻璃,其特征在于:所述黏结层为金属氧化物、氮化物、碳化物,或者这几种化合物的组合物。
3.如权利要求1所述的类石墨薄膜基透明导电玻璃,其特征在于:所述金属催化层的金属材料为铜、镍,或者镍铜合金。
4.如权利要求1所述的类石墨薄膜基透明导电玻璃,其特征在于:所述类石墨层的类石墨薄膜为含有SP3杂化键和SP2杂化键的亚稳态非晶态材料,所述SP2杂化键在上述非晶态材料中含量不低于70%。
5.如权利要求1所述的类石墨薄膜基透明导电玻璃,其特征在于:所述黏结层的厚度为30-60nm,所述金属催化层的厚度为5-20nm,所述类石墨层的厚度为30-150nm。
6.如权利要求1所述的类石墨薄膜基透明导电玻璃,其特征在于:所述基材为钢化玻璃。
7.一种类石墨薄膜基透明导电玻璃的大面积可连续生产的方法,其特征在于:该导电玻璃的黏结层、金属催化层和类石墨层依次通过PVD方法沉积于基材上后,在真空中保持300-400℃退火。
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