[发明专利]高精度差动式多层环形电容测微仪

说明书

技术领域

本发明涉及测量设备领域技术，尤其是指一种高精度差动式多层环形电容测微仪。

背景技术

电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。其在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。

目前已有的电容位移传感器主要有变极距型电容传感器，变面积型电容传感器两大类，然而以上两种传感器的灵敏度和精度都比较低，要达到高的测量精度必须增大极板面积，这不仅在成本上非常高，在体积上也难以微型化，并且无法测量工作台的真正运动状态。

发明内容

有鉴于此，本发明针对现有技术存在之缺失，其主要目的是提供一种高精度差动式多层环形电容测微仪，其能用于高测量精度，高灵敏度，尤其是应用在微动工作台中的电容位移传感器，不仅降低成本，提高测量精度，而且能实现微型化。

为实现上述目的，本发明采用如下之技术方案：

一种高精度差动式多层环形电容测微仪，包括有金属外壳、动电容体以及两静电容体；该金属外壳接地，该动电容体和两静电容体均设置于金属外壳内；该动电容体的左右两端均形成有多个同心的电容动极板，动电容体连接有金属导向轨，金属导向轨与金属外壳直接配合接触，金属导向轨的末端伸出金属外壳并与一测头连接；一静电容体的左端安装有左绝缘导向静极板套，另一静电容体的右端安装有右绝缘导向静极板套，一静电容体的右端和另一静电容体的左端均形成有多个同心的电容静极板，两静电容体上的电容静极板与动电容体两端对应的电容动极板相互嵌套，以及，两静电容体连接有屏蔽电缆，该屏蔽电缆穿过金属外壳与电容信号处理电路连接，电容信号处理电路连接差动放大电路。

作为一种优选方案，所述金属外壳为左端开口的中空圆柱体，该金属外壳的右端具有第一通孔，该左绝缘导向静极板套封盖住金属外壳的左端，该右绝缘导向静极板套设置于该金属外壳的右端内部，该左绝缘导向静极板套以及右绝缘导向静极板套分别具有第二通孔以及第三通孔，该金属导向轨依次穿过第一通孔、第三通孔以及第二通孔且金属导向轨的左右两端伸出金属外壳外，该金属导向轨可左右移动地设置，对应地该动电容体亦可随金属导向轨左右移动地设置。

作为一种优选方案，所述金属导向轨上设置有一固定螺母，该固定螺母抵于左绝缘导向静极板套上，该金属导向轨与测头之间通过一连接件连接，一复位弹簧套设于金属导向轨外且该复位弹簧的两端分别抵于金属外壳与连接件之间。

作为一种优选方案，所述金属导向轨包括有左金属导向轨以及右金属导向轨，该左金属导向轨的左端伸出金属外壳外并接地，该右金属导向轨与金属外壳直接配合接触，该右金属导向轨与动电容体的连接处设置有绝缘漆，该右金属导向轨的右端伸出金属外壳外并与测头连接。

作为一种优选方案，所述测头为可更换测头。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果，具体而言，由上述技术方案可知：

通过在金属外壳内设置有动电容体和两静电容体，该动电容体的左右两端均形成有多个同心的电容动极板，一静电容体的右端和另一静电容体的左端均形成有多个同心的电容静极板，两静电容体上的电容静极板与动电容体两端对应的电容动极板相互嵌套，使得电容静极板与对应的电容动极板组成多组环状并联电容，该多组环状并联电容的变化形态相同，各组差动变化累加，从而增大了微动时电容静极板与电容动极板之间的面积变化量，从而使得系统更具稳定性、抗干扰性，有效提高了测量精度和灵敏度。

为更清楚地阐述本发明的结构特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对本发明进行详细说明：

附图说明

图1是本发明之较佳实施例的总体结构示意图；

图2是本发明之较佳实施例中静电容体的主视图；

图3是本发明之较佳实施例中静电容体的局部截面图；

图4是本发明之较佳实施例中静电容体的侧视图；

图5是本发明之较佳实施例中动电容体的主视图；

图6是本发明之较佳实施例中动电容体的局部截面图；

图7是本发明之较佳实施例中动电容体的侧视图；

图8是本发明之较佳实施例中左绝缘导向静极板套的主视图；

图9是本发明之较佳实施例中左绝缘导向静极板套的截面图；

图10是本发明之较佳实施例中左绝缘导向静极板套的侧视图；