[发明专利]一种缓蚀剂及其使用方法

权利要求书

1. 一种缓蚀剂，其特征在于：由二氧化硅、含氧金属盐、表面活性剂、有机硅氧烷和溶剂组成；所述的二氧化硅为球形或米粒状；所述的二氧化硅的粒径为1~500 nm；所述的含氧金属盐为钼酸盐、钨酸盐、锡酸盐、锰酸盐、钒酸钠中的一种或多种；所述的表面活性剂为十二烷基磺酸钠、十六烷基三甲基溴化铵、聚乙二醇辛基苯基醚、油酸钠、三乙醇胺、六次甲基四胺、苯甲酸钠、乙二胺四乙酸二钠、氨基酸钠、葡萄糖酸钠、天冬氨酸钠中的一种或多种；所述的有机硅氧烷为氟基硅氧烷、乙烯基硅氧烷、苯基硅氧烷、环氧基硅氧烷、氨基硅氧烷、巯基硅氧烷中的一种或多种；所述的溶剂为水、乙醇中的一种或两种；各组分的重量百分数为二氧化硅0.1~15%、含氧金属盐0.001~15%、表面活性剂0.001~5%、有机硅氧烷0.001~5%、溶剂60~99%，各组分的重量百分数之和为100%。

2.一种使用如权利要求1所述的缓蚀剂的方法，其特征在于：在金属表面涂布缓蚀剂，然后在20~200℃下烘干。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述的涂布为浸涂、喷涂、刷涂或辊涂中的一种或多种。