[发明专利]一种多晶石英陶瓷坩埚及其制备方法有效
申请号: | 201510116299.1 | 申请日: | 2015-03-17 |
公开(公告)号: | CN104651932B | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 苏光都;杨小刚;王君伟;楼杭炯;齐平;郑萍 | 申请(专利权)人: | 江西中昱新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 334100 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 石英 陶瓷 坩埚 及其 制备 方法 | ||
1.一种多晶石英陶瓷坩埚的制备方法,包括以下步骤:
将3份粒径大于150μm、纯度不低于99.99%的石英砂颗粒放入球磨机中,再加入2份高纯水,混合球磨8小时,得到粒径10μm~80μm石英砂的浆料,浆料粘度为125mPa.s;所述高纯水的电导率小于2s/cm;
将1份球磨出的浆料、1/5份陶瓷粘接剂和1份粒度为70μm~150μm的石英砂混合并搅拌1小时,使其混合均匀, 将石英陶瓷裸埚置于加热器上进行加热,当石英陶瓷裸埚被加热至50℃时,采用喷刷的方式喷在石英陶瓷裸埚内壁,喷涂的涂层厚度在1400μm,再使其自然干燥1小时,得到多晶石英陶瓷坩埚。
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