[发明专利]一种多晶硅生产用石墨卡帽及卡瓣的加工方法及专用刀具

权利要求书

1.一种多晶硅生产用石墨卡帽及卡瓣的加工方法，该方法的生产工艺为：

1）切槽：将加工石墨卡帽的高纯石墨毛坯制品装夹在车床上，按照墨卡帽的图纸的尺寸和表面质量要求进行平端面、车外径，然后在端面按石墨卡帽的内经和与其相配的石墨卡瓣的尺寸，留出精加工余量车出环形槽，环形槽的深度大于石墨卡瓣底座的高度；

2）掏芯材：高纯石墨毛坯制品掉头找正后，车外圆面和端面，使高纯石墨毛坯制品的长度大于等于石墨卡帽的长度，利用掏芯材专用刀具按石墨卡帽圆锥孔的尺寸和锥面角度横向进刀掏芯材，进刀深度小于石墨卡帽的长度和环形槽深度之差；

3）卸下工件，掰下上述步骤掏出的芯材，外圆环即为石墨卡帽的粗加工品，芯材即为石墨卡瓣的粗加工品；

4）对上述石墨卡帽和石墨卡瓣的粗加工品进行精加工后，即可获得石墨卡帽和石墨卡瓣的成品。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用石墨卡帽及卡瓣的加工方法，其特征在于上述进刀深度小于石墨卡帽的长度和环形槽深度之差，其差值为1—0.5mm。