[发明专利]散射X线除去用滤波栅的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及模拟/数字X线拍摄装置或X线CT装置、乳房X线照相术(mammography)、CR等X线图像处理装置(X－ray image handling apparatus)所使用的散射X线除去用滤波栅的制造方法。

背景技术

X线图像处理装置中，产生向与在被检体中透射的入射X线(一次X线)无关的方向放射的X线、所谓的散射X线(二次X线)而导致拍摄画面的对比度或鲜明度的降低，成为准确诊断的妨碍的情况不少。要除去该散射X线，通常使用被称作散射X线除去用滤波栅(anti－scatter grids)(以下有时简称为“滤波栅”)的装置。

散射X线除去用滤波栅具有将由X线吸收大的物质(铅、钨等)构成的X线吸收部和由X线吸收小的物质(纸、木、铝、树脂等)构成的X线透射部相邻并交互配置的构造。

尽可能减少X线对被检体的曝射量，X线透射部由尽可能地透射X线的材料构成为佳。其中，最近，由空气层构成X线透射部的所谓被称作空气－滤波栅(Air－Grid)的滤波栅备受关注(例如专利文献1)。

在空气－滤波栅的情况下，X线透射部的形状为槽状、柱体状、或锥柱状(或锥体状)。

作为X线透射部的形状为槽状的空气－滤波栅，将细长的板状的X线吸收部和X线透射部(空气部)交互条纹状配置的槽型的平行滤波栅或集束滤波栅，但在重复使用中，难以长期维持X线吸收部和X线透射部的最初的配设精度，很难说机械强度也强，因此，在使用寿命上残存有课题。

另外，在槽型的平行滤波栅或集束滤波栅(以下有时记为“槽型空气－滤波栅”)的情况下，在与数字X线传感器一同使用时，因X线吸收部/X线透射部的排列间距和数字X线传感器的析像度的关系而在图像上产生波纹，成为画质降低的主要因素。

与之相对，X线透射部的形状为柱体状、或锥体状的空气－滤波栅(以下有时记为“柱/锥体型空气－滤波栅”)在多个X线透射部(空气部)沿X－Y方向排列，各X线透射部被X线吸收部区划，该X线吸收部成为自立性的一体构造。因此，在柱/锥体型空气－滤波栅的情况下，虽然没有槽型空气－滤波栅面临的上述课题，但有以下的课题1～3。

作为空气－滤波栅的性能，要提高散射X线的除去率，需要增长X线透射部的透射长(L)、增大将X线透射部的间隔(透射部的宽度)设为D的情况下的滤波栅比(grid ratio：γ)(L/D)(课题1)。

另外，为提高析像度，需要减小X线透射部的X线受容面(入射面)的大小(面积)(S1)和X线吸收部的X线受容面(入射面)的大小(面积)(S2)，且相对于X线透射部的X线受容面(入射面)的大小(S1)尽可能减小X线吸收部的X线受容面(入射面)的大小(S2)(课题2)。

但是，在课题2中，由于空气－滤波栅的构造强度按道理依赖于X线吸收部的构造强度，所以如果以解决课题1为前提，则随着X线吸收部的X线受容面(入射面)的大小(面积)(S2)减小，纵横比增大，难以维持机械强度(课题3)。

空气－滤波栅的制法有：激光直接加工法(专利文献1、2)、使用激光的三维光造形法(专利文献3)、光石版印刷术法(专利文献4、5)、湿式/干式蚀刻法(专利文献1、6)、模制法(专利文献1)、纳米打印法(专利文献7)等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特表2012－530588号公报

专利文献2：特开2000－65995号公报

专利文献3：特开2004－93332号公报

专利文献4：特开2012－122840号公报

专利文献5：特开2012－150144号公报

专利文献6：特开2012－47687号公报

专利文献7：特开2012－93117号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，这些专利文献所记载的空气－滤波栅的制法分别有优缺点，还没有任何制法都能够一举解决上述三个课题1～3，也没有能够保证得到散射X线的除去率、析像度及机械强度优异的空气－滤波栅的可靠的技术。

本发明鉴于上述课题进行了刻意探讨、研究，结果是，其目的之一提供散射X线除去用滤波栅制造方法，一举解决所述课题1～3，能够制造散射X线的除去率、析像度及机械强度优异的散射X线除去用滤波栅。

本发明的另一目的提供散射X线除去用滤波栅制造方法，能够简易且廉价地制造1次X线的透射特性优异的散射X线除去用滤波栅。