[发明专利]一种液晶光阀及其制备方法

权利要求书

1.一种液晶光阀，包括相对设置的第一玻璃基片(1)和第二玻璃基片(10)，第一玻璃基片(1)和第二玻璃基片(10)相向的侧面分别设有第一透明导电薄膜层(2)和第二透明导电薄膜层(9)，第一透明导电薄膜层(2)和第二透明导电薄膜层(9)之间还依次设有光敏层(3)、阻光层(4)、介质镜(5)、第一取向层(6)、液晶层(7)及第二取向层(8)，其特征在于，所述光敏层(3)为光学带隙渐变的a-Si:H/nc-Si:H薄膜，其带隙范围为1.5eV～2.2eV。

2.如权利要求1所述的一种液晶光阀，其特征在于，所述光敏层的厚度为2μm～3μm。

3.如权利要求1所述的一种液晶光阀，其特征在于，所述阻光层的材质为碲化镉，其厚度范围为1～1.5μm，介质镜的透射率小于1％，所述第一取向层(6)及第二取向层(8)均为聚酰亚胺取向层。

4.如权利要求1或2或3所述的一种液晶光阀，其特征在于，所述第一取向层(6)及第二取向层(8)之间均匀设置有直径4μm的间隔子。

5.如权利要求1或2或3所述的一种液晶光阀，其特征在于，所述第一玻璃基片(1)背离第一透明导电薄膜层(2)的一侧设有增透膜层。

6.一种液晶光阀的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

A.分别在第一玻璃基片和第二玻璃基片的一侧镀一层透明导电薄膜，形成第一导电玻璃和第二导电玻璃，清洗前述导电玻璃后取出；

B.吹干步骤A取出的第一导电玻璃和第二导电玻璃，并将第一导电玻璃放入到真空室中，使用射频等离子体化学气相沉积法在第一导电玻璃的透明导电薄膜上制备nc-Si:H/a-Si:H渐变过渡型薄膜作为光敏层，其厚度范围为2～3μm；

C.将步骤B溅射光敏层后的第一导电玻璃取出，在光敏层表面蒸镀材质为碲化镉的阻光层，而后在阻光层上制备介质镜；

D.分别在步骤C中的第一导电玻璃的介质镜及步骤A中的第二导电玻璃的透明导电薄膜上旋涂聚酰亚胺溶液，并甩胶使其均匀，烘烤固化后利用丝绒摩擦，使其表面形成微细取向沟槽，分别形成取向层，且两个取向层的微细取向沟槽相互重直；

E.在取向层之间均匀放入间隔子后灌入液晶，并利用环氧树脂胶封，形成液晶光阀。

7.如权利要求6所述的一种液晶光阀的制备方法，其特征在于，所述步骤A具体包括：

A1.分别在第一玻璃基片和第二玻璃基片的一侧镀一层透明导电薄膜形成第一导电玻璃和第二导电玻璃；

A2.利用洗涤剂对第一导电玻璃和第二导电玻璃的表面进行清洁；

A3.将步骤A2清洗得到的第一导电玻璃和第二导电玻璃放在基片架上，放入盛有丙酮或乙醇溶液的烧杯中进行超声处理5min，然后静置2min；

A4.将步骤A3洗涤后得到的第一导电玻璃、第二导电玻璃及基片架放入盛有饱和NaOH超纯水的烧杯中，超声处理5min后静置2min；

A5.将步骤A4洗涤后得到的第一导电玻璃、第二导电玻璃及基片架放入盛有去离子水的烧杯中，超声处理5min后静置2min后取出。