[发明专利]一种快速制备高性能SiGe高温热电合金材料的方法有效
申请号: | 201510124538.8 | 申请日: | 2015-03-20 |
公开(公告)号: | CN104711444B | 公开(公告)日: | 2017-08-25 |
发明(设计)人: | 唐新峰;卢瑞明 | 申请(专利权)人: | 武汉理工大学 |
主分类号: | C22C1/05 | 分类号: | C22C1/05;B22F3/105;B22D11/06;H01L35/14 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司42102 | 代理人: | 唐万荣 |
地址: | 430070 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 快速 制备 性能 sige 高温 热电 合金材料 方法 | ||
1.一种快速制备高性能SiGe高温热电合金材料的方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)以块状Si、块状Ge和颗粒状红磷为原料,按Si80Ge20Px各原子的化学计量比称量各原料,其中x=2~10;
2)将称量好的原料进行高频感应熔融,自然冷却得锭体;
3)将所得锭体进行熔体旋甩,得薄带;
4)将所得薄带研磨成粉末,进行放电等离子体活化烧结,得所述的SiGe高温热电合金;
所述高频感应熔融工艺为:将原料置于高频感应熔融炉中,抽真空至低于10-2Pa,然后充入惰性气体至腔体压力为-0.05MPa,加载380V电压进行高频感应熔融,电流为12A,熔融过程持续3min;
所述的熔体旋甩工艺为:将步骤2)所得锭体置于带喷嘴的石墨坩埚中,所述喷嘴长5mm、宽0.5mm,然后置于熔体旋甩装置中,抽真空至低于10-2Pa,然后充入惰性气体至腔体压力为-0.05MPa,喷射压力设置为0.02MPa以上,然后旋转铜辊,线速度为10~60m/s,感应线圈加载120V电压,22A的电流,待样品完全熔化,将熔体喷至旋转铜辊,经铜辊冷却甩出厚度为20~40μm,宽为4~5mm的薄带;
所述的放电等离子体活化烧结工艺为:将步骤3)所得薄带研磨成粉末,并装入石墨模具中压实,然后在真空小于10Pa和烧结压力为45MPa的条件下进行烧结,以300℃/min的升温速率加热至700℃,然后以100℃/min的升温速率加热至1050℃并保温,烧结致密化时间为8min。
2.根据权利要求1所述的快速制备高性能SiGe高温热电合金材料的方法,其特征在于,所述块状Si的质量纯度≥99.999%,块状Ge的质量纯度≥99.99%,颗粒状红磷的质量纯度≥99.999%。
3.根据权利要求1所述的快速制备高性能SiGe高温热电合金材料的方法,其特征在于,所述的熔体旋甩装置为急速冷却系统。
4.根据权利要求1所述的快速制备高性能SiGe高温热电合金材料的方法,其特征在于,所述步骤1)中称取的原料采用玻璃管真空封装或充入惰性气体,使玻璃管内气压≤-0.05MPa。
5.根据权利要求4所述的快速制备高性能SiGe高温热电合金材料的方法,其特征在于,所述的惰性气氛为氩气或氦气。
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