[发明专利]一种环境友好型铜缓蚀剂及其制备方法在审
申请号: | 201510127205.0 | 申请日: | 2015-03-24 |
公开(公告)号: | CN104805445A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 陈维忠;李洪社;喻果 | 申请(专利权)人: | 威海翔宇环保科技股份有限公司 |
主分类号: | C23F11/08 | 分类号: | C23F11/08;C02F5/08;C02F5/14 |
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地址: | 264205 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 环境友好 型铜缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
1.本发明提供了一种环境友好型铜缓蚀剂及其制备方法,铜缓蚀剂由聚天冬氨酸、钼酸钠、磷酸酯、硅酸盐或偏硅酸盐及纯水组合而来,聚天冬氨酸、钼酸钠、磷酸酯、硅酸盐或偏硅酸盐及纯水的质量比为10~20:15~35: 5~10: 3~8: 47~77。
2.根据权利要求1所述的环境友好型铜缓蚀剂,其特征在于:铜缓蚀剂由聚天冬氨酸、钼酸钠、磷酸酯、硅酸盐或偏硅酸盐及纯水组合而来,聚天冬氨酸、钼酸钠、磷酸酯、硅酸盐或偏硅酸盐及纯水的质量比为10~20:15~35: 5~10: 3~8: 47~77。
3.根据权利要求1所述的环境友好型铜缓蚀剂,其特征在于:所述的磷酸酯为多元醇磷酸酯和磷酸单脂。
4.根据权利要求1所述的环境友好型铜缓蚀剂,其特征在于:所述的硅酸盐或偏硅酸盐为硅酸钠或偏硅酸钠。
5.根据权利要求1所述的环境友好型铜缓蚀剂,其特征在于:本发明提供了一种环境友好型铜缓蚀剂的制备方法,将五种物质按照一定的质量比依次投入到搅拌容器中搅拌溶解即可得本发明产品。
6.聚天冬氨酸作为一种水溶性的氨基酸聚合物,因其分子中含有肽键,易被微生物分解成CO2和H2O,除了具有水溶性聚羧酸的性质外,还拥有易生物降解、无污染、无毒等特点,同时还具有良好的缓蚀性能。
7.磷酸酯为有机类的中性介质缓蚀剂,有助于在铜表面形成化学吸附膜,此膜极薄,只有单个分子或几个分子层厚度,能够达到表面防护的目的,起到缓蚀的作用。
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