[发明专利]异向性量测系统、异向性量测方法及其校正方法有效
| 申请号： | 201510127520.3 | 申请日： | 2015-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN106154593B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 谢易辰;刘志祥;庄凱评;杨富程;魏祥钧;林友崧 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1337;G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;常大军 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 向性 系统 方法 及其 校正 | ||
【说明书】：
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