[发明专利]一种金属-电介质薄层粘结或涂层结构的界面缺陷检测方法及装置

权利要求书

1.一种金属-电介质薄层粘结或涂层结构的界面缺陷检测方法，其特征在于该方法为：在待测试品（1）两侧施加一定的电场，待测试品（1）上有缺陷的地方将率先出现局部放电现象，通过监测放电信号，可以判断待测试品（1）是否存在缺陷，并进行缺陷定位。

2.根据权利要求1所述的一种金属-电介质薄层粘结或涂层结构的界面缺陷检测方法，其特征在于该方法包括以下步骤：

1）将待测试品（1）放置于固定电极形成的基础平台上，移动电极可在待测试品（1）上移动；

2）通过在待测试品（1）两侧施加一定的高电压的方式向待测试品（1）两侧施加一定的电场；

3）调节电压以改变电场的大小，使得在待测试品（1）的大部分位置都无法探测到放电信号；

4）沿待测试品（1）的X、Y方向分别移动移动电极，当移动电极到达某位置时，监测到局部放电信号，说明移动电极所在处存在着缺陷，此时应暂停移动移动电极，记录缺陷位置，

即可判断待测试品（1）是否存在缺陷，并进行缺陷定位。

3.根据权利要求1所述的一种金属-电介质薄层粘结或涂层结构的界面缺陷检测方法，其特征在于：步骤3）中还可通过微移移动电极，从局放信号的有无，判断缺陷的大小及形状；若移动移动电极直至遍历整个待测试品（1），没有局放信号，则说明待测试品（1）无缺陷。

4.根据权利要求1所述的一种金属-电介质薄层粘结或涂层结构的界面缺陷检测方法，其特征在于：步骤2）中施加的高电压为220V～10kV可调。

5.根据权利要求1所述的一种金属-电介质薄层粘结或涂层结构的界面缺陷检测方法，其特征在于：步骤1）中，当固定电极为高压电极（3）时，移动电极为接地电极（2）；当固定电极为接地电极（2）时，移动电极为高压电极（3）。

6.一种金属-电介质薄层粘结或涂层结构的界面缺陷检测装置，包括带可调高压发生器（4）的高压电极（3），其特征在于：待测试品（1）的金属面紧贴高压电极（3），局放监测系统（5）与高压电极（3）电气相连，从高压侧探测缺陷放电信号，接地电极（2）紧贴于待测试品（1）的非金属面。

7.根据权利要求6所述的一种金属-电介质薄层粘结或涂层结构的界面缺陷检测装置，其特征在于：三自由度机械手（6）与高压电极（3）或接地电极（2）或待测试品（1）相配合，推动高压电极（3）或接地电极（2）或待测试品（1）移动。