[发明专利]应用于炉管设备一致性分析的查询系统及查询方法

权利要求书

1.一种应用于炉管设备一致性分析的查询系统，其特征在于，包括：

数据库，用于记录各所述炉管设备内全部批次的晶圆所经过的事件信息以及在各所述炉管设备中的位置信息；

界面生成模块，用于提供查询界面以输入查询条件；

查询模块，用于根据所述查询条件访问所述数据库以在所述数据库记录的信息中执行查询操作；以及

报表生成模块，根据查询结果生成第一报表和第二报表，所述第一报表记录符合所述查询条件的晶圆的事件信息以及在其所处炉管设备中的位置信息，所述第二报表记录符合所述查询条件的晶圆所处的炉管设备内全部批次的晶圆的位置信息。

2.根据权利要求1所述的查询系统，其特征在于，所述事件信息包括晶圆基本信息、炉管设备机台信息和工艺步骤信息；其中所述晶圆基本信息包括产品品名信息、批次信息和晶圆生产线流程信息；所述炉管设备机台信息包括炉管设备编号信息、炉管设备跑货信息、炉管设备运行时间信息和炉管设备的腔体编号信息；所述工艺步骤信息至少包括工艺菜单信息。

3.根据权利要求2所述的查询系统，其特征在于，所述查询条件至少包括炉管设备查询条件和处理时间查询条件。

4.根据权利要求3所述的查询系统，其特征在于，所述查询条件还包括晶圆批次查询条件、产品品名查询条件、工艺菜单查询条件至少其中之一。

5.根据权利要求3所述的查询系统，其特征在于，所述查询模块验证所述查询条件是否包含炉管设备查询条件和处理时间查询条件，当所述查询条件包含炉管设备查询条件和处理时间查询条件时，所述查询模块执行查询操作。

6.一种应用于炉管设备一致性分析的查询方法，包括：

记录各所述炉管设备内全部批次的晶圆所经过的事件信息以及在各所述炉管设备中的位置信息；

提供查询界面以输入查询条件；

根据所述查询条件在所述记录的信息中执行查询操作；以及

根据查询结果生成第一报表和第二报表，所述第一报表记录符合所述查询条件的晶圆的事件信息以及在其所处炉管设备中的位置信息，所述第二报表记录符合所述查询条件的晶圆所处的炉管设备内全部批次的晶圆的位置信息。

7.根据权利要求6所述的查询方法，其特征在于，所述事件信息包括晶圆基本信息、炉管设备机台信息和工艺步骤信息；其中所述晶圆基本信息包括产品品名信息、批次信息和晶圆生产线流程信息；所述炉管设备机台信息包括炉管设备编号信息、炉管设备跑货信息、炉管设备运行时间信息和炉管设备的腔体编号信息；所述工艺步骤信息至少包括工艺菜单信息。

8.根据权利要求6所述的查询方法，其特征在于，所述查询条件至少包括炉管设备查询条件和处理时间查询条件。

9.根据权利要求8所述的查询方法，其特征在于，所述查询条件还包括晶圆批次查询条件、产品品名查询条件、工艺菜单查询条件至少其中之一。

10.根据权利要求8所述的查询方法，其特征在于，其中根据所述查询条件在所述记录的信息中执行查询操作的步骤包括：

验证所述查询条件是否包含炉管设备查询条件和处理时间查询条件；以及

当所述查询条件包含炉管设备查询条件和处理时间查询条件时，执行查询操作。