[发明专利]成分振荡金属氮化物涂层的制备方法

权利要求书

1.成分振荡金属氮化物涂层的制备方法，包括以下工艺步骤：

(1)基片表面处理

对于表面不平整的金属或者合金材料制成的基片，将基片依次进行表面研磨抛光、除油、超声波丙酮酒精清洗，吹气烘干；将基片放入溅射镀膜机的真空室进行等离子体偏压反溅清洗；

对于表面光滑平整基片，将基片超声波丙酮酒精清洗，再将基片进行等离子体偏压反溅清洗；

所述的等离子体偏压反溅清洗本底真空度小于1×10^-3Pa、反溅偏压为-600V、工作气体为Ar气，反溅气压为1.0～5.0Pa、清洗时间为10min；

(2)成分振荡金属氮化物涂层的制备

采用溅射镀膜机，以反应溅射工艺模式在基片表面沉积成分振荡金属氮化物涂层；

当真空室的本底真空度小于1×10^-3Pa时，向真空室内通入Ar气和N₂气的混合气体，开启纯金属或合金靶材开始溅射沉积涂层；沉积过程中，通过改变N₂气与Ar气的分流量或分气压来控制溅射气体中N₂气与Ar气的含量比，且N₂气与Ar气的含量比变化曲线随涂层沉积时间呈现出周期性变化规律。

2.根据权利要求1所述的成分振荡金属氮化物涂层的制备方法，其特征在于：步骤(1)中所述的基片表面研磨抛光，依次采用100目至2000目的水砂纸、抛光绒布，使用3μm粒径的金刚石抛光剂进行抛光，使得基片表面成镜面效果。

3.根据权利要求1所述的成分振荡金属氮化物涂层的制备方法，其特征在于：步骤(1)中所述的基片除油处理，所用的除油剂配方组成为碳酸钠160g/L、柠檬酸钠45g/L、活性剂5g/L、磷酸钠50g/L。

4.根据权利要求1到3任一项所述的成分振荡金属氮化物涂层的制备方法，其特征在于：所述的N₂气与Ar气的含量比变化曲线的周期性变化规律特征为，含量比变化曲线上最低值处在0～0.05范围内，最高值处于0.1～5范围内。