[发明专利]一种碳纳米管冷阴极考夫曼离子源装置在审
| 申请号： | 201510130326.0 | 申请日： | 2015-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN104701123A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 乔宪武;邱顺剑;苏晨怡;徐晓晖;章鹏飞 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 阴极 考夫曼 离子源 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳纳米管冷阴极考夫曼离子源装置，包括进气口(1)、阴极(2)、阳极(3)、放电室(4)、磁棒(5)、屏极(6)、加速极(7)、中和灯丝(8)，其特征在于：所述装置阴极(2)由金属丝(22)表面包覆碳纳米管(21)构成。
2.根据权利要求1所述一种碳纳米管冷阴极考夫曼离子源装置，其特征在于：金属丝(22)采用钨丝材料，两端连接电极。
3.根据权利要求1所述一种碳纳米管冷阴极考夫曼离子源装置，其特征在于：碳纳米管(21)垂直金属丝(22)排列。
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