[发明专利]光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器

说明书

本发明提供光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器，容易得到规定的形状，而且能够限制可动部的过度的变位来抑制破损。光扫描仪(3)具有：可动部(31)；轴部(321、322)，它们将可动部(31)支承为能够绕第一轴J1摆动；支承部(33)，其对轴部(321、322)进行支承；凹部(51)，其设置于支承部(33)，并在支承部(33)的一侧的面具有开口，并且具有在支承部(33)的侧面敞开的敞开部(511)；以及限制部件(35)，其设置于凹部(51)内，且一部分从敞开部(511)突出，突出的部位位于支承部(33)与可动部(31)之间。

技术领域

本发明涉及光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器。

背景技术

例如，专利文献1公开有如下光扫描仪，其具备：具有反射面的镜部；以能够摆动的方式支承镜部的扭杆；以及支承扭杆的支承部。另外，专利文献1的光扫描仪具有设置于镜部与支承部之间的间隙的冲击缓和部，利用该冲击缓和部，避免镜部与支承部碰撞而破损。另外，上述各部通过使用蚀刻技术来对硅基板进行图案刻画而一体形成。

然而，在专利文献1的光扫描仪中，在镜部周围的空间存在差别。即，相对于镜部与支承部之间的空间，镜部与冲击缓和部之间的空间较小，而且，冲击缓和部的形状相对于其他部分也非常细小。因此，若通过蚀刻对硅基板进行图案刻画，则在硅基板的各个位置因蚀刻开口尺寸的不同而产生加工量的差别，从而难以制造光扫描仪。

具体地进行说明，若高精度地形成冲击缓和部，则蚀刻时间较长。因此，镜部以及扭杆被过度蚀刻，导致镜部变小，扭杆变细。相反地，若高精度地形成镜部以及扭杆，则蚀刻时间较短。因此，存在蚀刻在形成冲击缓和部之前结束的情况。

专利文献1：日本特开2013-109359号公报

发明内容

本发明的目的在于提供容易得到规定的形状，而且能够限制可动部的过度的变位来抑制破损的光扫描仪、图像显示装置以及头戴式显示器。

这样的目的通过下述的发明来实现。

本发明的光扫描仪的特征在于，具有：可动部，其具备将光反射的光反射部；第一轴部，其将上述可动部支承为能够绕第一轴摆动；支承部，其支承上述第一轴部；凹部，其设置于上述支承部并在上述支承部的一方的面具有开口部，并且在与上述支承部的上述一个的面连接的上述支承部的侧面具有侧面开口部；以及限制部件，其设置于上述凹部，且一部分从上述侧面开口部突出，该突出的部位位于上述支承部与上述可动部之间。

由此，能够抑制可动部周围的空间的差别，因此，不需要形成相对于其他部分过度细小的部位。因此，易获得规定的形状，而且能够获得限制可动部的过度的变位而抑制破损的光扫描仪。

在本发明的光扫描仪中，优选，在上述光扫描仪受到冲击时，上述限制部件与上述可动部接触，从而限制上述可动部的变位。

由此，能够限制可动部的过度的变位，从而能够减少光扫描仪的破损。

本发明的光扫描仪的特征在于，具有：可动部，其具备将光反射的光反射部；第一轴部，其将上述可动部支承为能够绕第一轴摆动；支承部，其支承上述第一轴部；凹部，其设置于上述支承部并在上述支承部的一方的面具有开口部，并且在与上述支承部的上述一方的面连接的上述支承部的侧面具有侧面开口部；以及限制部件，其设置于上述凹部，且一部分从上述侧面开口部突出，该突出的部位位于上述支承部与上述第一轴部之间。

由此，能够抑制可动部周围的空间的差别，因此，不需要形成相对于其他部分过度细小的部位。因此，容易得到规定的形状，而且能够获得限制可动部的过度的变位而抑制破损的光扫描仪。

在本发明的光扫描仪中，优选，在上述光扫描仪受到冲击时，上述限制部件与上述第一轴部接触，从而限制上述第一轴部的变位。

由此，能够抑制第一轴部的过度的变位/变形，从而能够减少光扫描仪的破损。