[发明专利]用多个射束和多个检测器对样本成像

权利要求书

1.一种用于用大量聚焦射束来检查或处理样本（232）的多射束装置，该装置被装配成在样本上扫描大量的N个射束（240—n），该装置装配有用于检测在所述样本被大量射束照射时由样本发射的二次辐射的大量的M个检测器（234—m），检测器中的每个能够输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的检测器信号，在工作中，每个检测器信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，该装置装配有可编程控制器（236），其用于使用加权因数来将大量的检测器信号处理成大量输出信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息，

其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。

2.权利要求1的装置，其中，一致地扫描射束（240—n）。

3.前述权利要求中的任一项的装置，其中，射束（240—n）是来自带电粒子束、离子束和电子束或其组合的群组的射束，并且加权因数进一步取决于射束能量。

4.前述权利要求中的任一项的装置，其中，所述大量检测器（234—m）被装配成检测可见光光子、UV光子、X射线光子、二次电子、后向散射电子和/或其组合。

5.前述权利要求中的任一项的装置，其中，所述大量射束由单个源（202）生成。

6.前述权利要求中的任一项的装置，其中，所述控制器（236）被编程以执行源分离技术以处理所述大量检测器信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息。

7.前述权利要求中的任一项的装置，其中，所述源分离技术使用求解/反演技术和/或高斯消元法和/或相对检测器加权因数和/或盲去卷积的知识。

8.一种用于用多射束装置来检查或处理样本（232）的方法，该装置在样本上扫描大量的N个聚焦射束（240—n），样本响应于用射束照射而发射二次辐射，该二次辐射被大量的M个检测器（234—m）检测，M个检测器中的每一个输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的信号，每个检测器的信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，并且通过使用加权因数将多个检测器的信号组合来重构由每个射束引起的信息，其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。

9.权利要求8的方法，其中，一致地扫描射束（240—n）。

10.权利要求8—9中的任一项的方法，其中，该射束是带电粒子束、离子束和电子束或其组合的群组的射束，并且加权因数进一步取决于射束能量。

11.权利要求8—10中的任一项的方法，其中，所述二次辐射包括可见光光子、UV光子、X射线光子、二次电子、后向散射电子和其组合。

12.权利要求8—11中的任一项的方法，其中，所述大量的M个检测器（234—m）中的每个检测器共享对二次辐射的类似响应。

13.权利要求8—12中的任一项的方法，其中，在样本上扫描大量的N个射束（240—n）导致照射邻接区，并且因此对邻接区进行成像。

14.权利要求8—13中的任一项的方法，其中，所述射束由一个源（102）发射。

15.权利要求8—14中的任一项的方法，其中，使用源分离技术来执行重构。

16.权利要求8—15中的任一项的方法，其中，源分离技术使用线性系统求解/反演技术和/或高斯消元法和/或相对检测器加权因数和/或盲去卷积的知识。