[发明专利]一种金刚石表面镀碳化钛的制作方法在审
| 申请号： | 201510132723.1 | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104805401A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 刘建设;郭松;孟为民;曹河周;刘拾霞;刘超超;王飞山 | 申请（专利权）人： | 河南黄河旋风股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 461500 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 表面 碳化 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种金刚石表面镀碳化钛膜的制作方法，它在金刚石真空镀膜机中进行，它包括以下步骤：
a、抽真空
首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中，将镀膜室抽真空至3×10-3Pa以下；
b、金刚石表面清洁
电压：390—410V
直流电流：1.2-1.4A
真空度：3*10-2Pa
离子源： 4.8—5.2KV离子源
偏转电压：90—110V
时间：5-10分钟
c、金刚石表面镀膜
阴极：钛金属材料（纯度为99.99%）
阳极极：金刚石粉体
电压： 440—460V
脉冲电流： 0.8A - 1.0A
乙炔流量： 5-6sccm
偏转电压： 180-220V
高纯氩气流量：15sccm
工作时间： 180分钟—200分钟
温度： 温度280——320℃
移动方式： 金刚石粉移动
经过上述步骤处理后可以得到表面具有树脂膜结构金刚石。
2.根据权利要求1所述的金刚石表面镀碳化钛膜的制作方法，其特征是：步骤b中的电压是400V，直流电流是1.3A，离子源是 5. KV离子源，偏转电压：100V。
3.根据权利要求1或2所述的金刚石表面镀碳化钛膜的制作方法，其特征是：步骤c中电压是450V，脉冲电是0.9A，偏转电压是200V，温度是300℃。
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