[发明专利]一种金刚石表面镀钛铝膜的制作方法

权利要求书

1.一种金刚石表面镀钛铝膜的制作方法，它在金刚石真空镀膜机中进行，它包括以下步骤：

a、抽真空

首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中，将镀膜室抽真空至3×10^-3Pa；

b、排残留空气

通入高纯氩气，排空残留空气；

c、洗涤

将金刚石真空镀膜机设置成下列参数对金刚石表面进行洗涤；

电压：390-410V；

直流电流：1.2-1.4A；

真空度：3×10-2Pa；

离子源：开启5KV离子源；

偏转电压：90-110V；

时间：5-10分钟；

d、镀膜

阴极：钛金属材料（纯度为99.99%）+高纯铝双靶材或钛50%铝50%合金单靶材；

阳极：上述步骤c中得到的金刚石粉体；

电压：        450V；

脉冲电流：    1.0A - 1.2A；

偏转电压：    100V；

高纯氩气流量：15毫升／秒；

工作时间：    21600秒～28800秒；

温度：        无需加热；

移动方式：    金刚石粉移动。

2.根据权利要求1所述的金刚石表面镀钛铝膜的制作方法，其特征是：所述的步骤c中

电压：400V；

直流电流：1.3A；

偏转电压：100V；

时间：8分钟。

3.根据权利要求1或2所述的金刚石表面镀钛铝膜的制作方法，其特征是：所述的步骤d中

脉冲电流：    1.1A。