[发明专利]一种金刚石表面镀树脂膜的制作方法有效
| 申请号： | 201510132726.5 | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104762592B | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 刘建设;郭松;孟为民;曹河周;王飞山;刘拾霞;刘超超 | 申请（专利权）人： | 河南黄河旋风股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 461500 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 表面 树脂 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种金刚石表面镀树脂膜的制作方法，它在金刚石真空镀膜机中进行，它包括以下步骤：
a、抽真空
首先将金刚石置于真空离子镀膜机的镀膜室中，将镀膜室抽真空至2×10-3Pa；
b、金刚石表面清洁
5kV离子源清洁处理30分钟；
c、金刚石表面镀膜
将上述步骤b中处置后的金刚石置于下述工艺中处理：
阴极靶材：用ABS树脂片靶材；
电压：400V；
直流电流：1.1A；
偏转电压：150V；
高纯氩气流量：12sccm；
工作时间：10800s～12000s；
温度：温度150℃；
移动方式：金刚石移动；
经过上述步骤处理后可以得到表面具有树脂膜结构金刚石。
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