[发明专利]一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法

权利要求书

1.一种高温合金表面高温绝缘涂层的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

1)将高温合金基片表面打磨平整，并依次用丙酮、酒精、去离子水超声清洗干净，烘干；

2)采用磁控溅射技术在经过步骤1)处理的高温合金基片表面沉积一层Ti金属层，所得到的Ti金属层厚度为1μm以上；

3)在Ti金属层上继续沉积一层Al金属层，所得到的Al金属层厚度为1μm以上；

4)将高温合金基片表面Al金属层完全氧化，直至氧化部分Ti金属层；

5)选用高温绝缘材料对氧化后的涂层表面进行多次封孔处理，将涂层中的孔洞填充，提高绝缘性；

6)采用磁控溅射技术在经步骤5)处理后的表面涂层上溅射Al₂O₃，将表面涂层中剩余的缝隙填充；

7)将步骤6)中制备好的高温合金基片放入马弗炉，在800～1200℃热处理，使表面涂层中Al₂O₃的晶型向α—Al₂O₃转化。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在执行所述步骤3)时，采用磁控溅射或者热浸镀的方法沉积一层Al金属层。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在执行所述步骤2)时，Ti金属层厚度为1～100μm。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在执行所述步骤4)时，采用微弧氧化或者阳极氧化的方法对表面的Al金属层进行完全氧化。

5.根据权利要求1或4所述的方法，其特征在于，在执行所述步骤3)时，Al金属层厚度为1～100μm。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在执行所述步骤5)时，选用SiO₂溶胶或者Al₂O₃溶胶作为填充材料。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述高温合金表面高温绝缘涂层由氧化铝层和下面的氧化钛层组成，涂层中的孔洞和缝隙由Al₂O₃或者SiO₂来填充。

8.根据权利要求1或7所述的方法，其特征在于，所述高温合金表面高温绝缘涂层的厚度为2～200μm。