[发明专利]一种三轴压电加速度计

权利要求书

1.一种三轴压电加速度计，其特征在于设有质量块，质量块为八边柱体，在质量块的两对称边上设有左梁、右梁、前梁和后梁，各梁均为长方体，在左梁上表面、右梁上表面、前梁上表面和后梁上表面均设有对称分布的4个压电片，各压电片的上方和下方均设有金属电极；质量块与左梁、右梁、前梁和后梁为一体结构；

在质量块上表面和下表面均沉积氮化硅薄膜；

质量块厚度为300～700μm，质量块的边长为8000～12000μm；

各梁的长度均为7600～11600μm，各梁的宽度均为1500～2500μm，各梁的厚度均为20～50μm，各梁的长度均为9600μm，宽度均为1600μm，厚度均为25μm；

各压电片均采用PZT材料，具体成分为PbZr_0.52Ti_0.48O₃，各压电片的厚度为3～15μm，各压电片的宽度比梁宽度的一半少50μm，各压电片的长度比梁长度的一半少50μm；压电片之间的距离为100μm。

2.如权利要求1所述一种三轴压电加速度计，其特征在于质量块与梁的材料均为硅。

3.如权利要求1所述一种三轴压电加速度计，其特征在于所述氮化硅薄膜的厚度为0.5～3μm。

4.如权利要求1所述一种三轴压电加速度计，其特征在于在各梁上表面和下表面均沉积氮化硅薄膜，氮化硅薄膜的厚度为0.5～3μm。

5.如权利要求1所述一种三轴压电加速度计，其特征在于各压电片的上方金属电极采用Al电极，各压电片的下方金属电极采用Pt电极。