[发明专利]以降低的成本和加强的可靠性制造磁屏蔽件的方法

权利要求书

1.一种用于制造具有空气支承表面位置即ABS位置的磁性换能器的方法，其包括：

提供主磁极，所述主磁极具有多个侧壁，提供所述主磁极的步骤包括提供尾锥；

在已提供所述尾锥之后提供侧屏蔽件。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述磁性换能器包括中间层，所述方法进一步包括：

使用至少一次蚀刻在所述中间层中形成沟槽，所述沟槽具有对应于所述主磁极的位置和外形；并且

其中提供所述主磁极的步骤进一步包括在所述沟槽中提供所述主磁极。

3.如权利要求2所述的方法，其中在所述沟槽中提供所述主磁极的步骤进一步包括：

沉积至少一个非磁性层，所述至少一个非磁性层的一部分位于所述沟槽中；

提供至少一种磁极材料；和

平坦化所述至少一种磁极材料。

4.如权利要求2所述的方法，其进一步包括：

提供侧间隙的共形部分，使得所述主磁极的至少一部分与所述沟槽共形。

5.如权利要求1所述的方法，其中所述主磁极具有底部和比所述底部更宽的顶部。

6.如权利要求1所述的方法，其中提供所述主磁极的步骤进一步包括：

离子铣削所述主磁极以形成所述尾锥。

7.如权利要求2所述的方法，其中，提供所述侧屏蔽件的步骤进一步包括：

在所述磁极的一部分上沉积至少一个非磁性间隙层；和

去除与所述主磁极相邻的一部分所述中间层。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述侧屏蔽件是环绕屏蔽件的一部分，并且其中提供所述侧屏蔽件的步骤进一步包括：

镀覆所述环绕屏蔽件。

9.一种用于制造具有空气支承表面位置即ABS位置的磁性换能器的方法，其包括：

提供中间层；

在所述中间层上提供至少一个掩模并且其中具有孔；

执行至少一次蚀刻以去除由所述孔暴露出的所述中间层的第一部分并在其中形成沟槽，所述沟槽具有对应于主磁极的位置和外形；

沉积至少一个非磁性层，所述至少一个非磁性层的一部分位于所述沟槽中；

沉积至少一种磁极材料；

平坦化所述至少一种磁极材料；

离子铣削所述至少一种磁极材料的一部分，以提供尾锥并形成所述主磁极；

在所述主磁极上提供非磁性写间隙；

去除与所述主磁极相邻的所述中间层的第二部分；以及

在离子铣削步骤和去除所述中间层的所述第二部分的步骤之后，提供侧屏蔽件，所述至少一个非磁性层的一部分形成所述侧间隙的至少一部分，所述侧间隙存留在所述侧屏蔽件和所述主磁极之间。

10.如权利要求9所述的方法，其中所述侧屏蔽件是环绕屏蔽件的一部分，并且其中提供所述侧屏蔽件的步骤进一步包括：

提供所述环绕屏蔽件。