[发明专利]9．3μm波长激光的制备方法

权利要求书

1.一种9.3μm波长激光的制备方法，包括以下步骤：

在二氧化碳激光器的放电管内充入¹²C¹⁸O₂、N₂、He的混合气体，调整放电管内的气压，并满足以下关系，1：1：6<P(¹²C¹⁸O₂)：P(N₂)：P(He)<1：1：9；其中，P(¹²C¹⁸O₂)为¹²C¹⁸O₂的气压大小，P(N₂)为N₂的气压大小，P(He)为He的气压大小；

充入辅助气体Xe，气压满足如下关系：3％<P(Xe)：(P(¹²C¹⁸O₂)+P(N₂)+P(He))<10％；其中，P(¹²C¹⁸O₂)为¹²C¹⁸O₂的气压大小，P(N₂)为N₂的气压大小，P(He)为He的气压大小，P(Xe)为Xe的气压大小；

注入射频功率，两板条间的气体放电；

激发生成9.3μm波长的激光，9.3μm波长的激光从密封放电管的窗口输出。

2.根据权利要求1所述的9.3μm波长激光的制备方法，其特征在于，所述放电管的总气压P_总满足，80托≤P_总≤150托。

3.根据权利要求1所述的9.3μm波长激光的制备方法，其特征在于，所述放电管内还充有¹²C¹⁶O₂气体，并且¹²C¹⁸O₂气体与¹²C¹⁶O₂气体的气压比满足：C1612O2C1612O2+C1812O2≤20%.]]>

4.根据权利要求1所述的9.3μm波长激光的制备方法，其特征在于，在所述输出9.3μm波长的激光光束的步骤中，所述二氧化碳激光器的谐振腔包括第一全反射镜及用于输出激光光束的第二全反射镜，所述第一全反射镜与所述第二全反射镜相对设置，所述第一全反射镜及第二全反射镜对于9.3μm的反射率R_9.3μm≥99％。

5.根据权利要求4所述的9.3μm波长激光的制备方法，其特征在于，所述第二全反射镜的长度小于所述第一全反射镜的长度，从所述第一全反射反射过来的9.3μm波长激光光束的宽度大于所述第二全反射镜的长度，位于边缘的9.3μm波长激光光束从所述第二全反射镜的一侧射出。

6.根据权利要求4所述的9.3μm波长激光的制备方法，其特征在于，所述第二全反射镜的长度等于所述第一全反射镜的长度，所述第二全反射镜开设有输出窗口，9.3μm波长激光光束从所述输出窗口射出。