[发明专利]光束分析仪以及激光加工装置

权利要求书

1.一种光束分析仪，接收从激光振荡器射出的激光并测量该激光的强度分布，该光束分析仪具备：

部分反射镜，其配置于从上述激光振荡器射出的上述激光的光路上；

多个受光部，该多个受光部分别接收透过了上述部分反射镜的激光的激光照射区域中的各不相同的区域的光，该多个受光部具有第一受光部，该第一受光部配置为其中心与激光的光轴大致一致，并且该第一受光部接收上述激光的激光照射区域中的包括上述激光的中心部的区域的光；

多个激光强度传感器，该多个激光强度传感器分别安装于上述多个受光部，来感知由该多个受光部各自接收到的上述激光的强度；以及

光轴偏移判断部，其判断在来自安装于上述多个受光部的上述多个激光强度传感器的输出中，来自安装于上述第一受光部的上述激光强度传感器的第一输出是否是最大。

2.根据权利要求1所述的光束分析仪，其特征在于，

上述激光强度传感器包括热电偶、热电堆、热敏电阻或铂测温电阻体。

3.根据权利要求1所述的光束分析仪，其特征在于，

上述激光强度传感器包括应变计。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的光束分析仪，其特征在于，

上述第一受光部是圆形构件，

上述多个受光部具有第二受光部，该第二受光部与上述第一受光部热绝缘，

上述第二受光部是被配置成与上述第一受光部同心的圆环构件。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的光束分析仪，其特征在于，

上述多个受光部具有第二受光部，该第二受光部与上述第一受光部热绝缘，

上述第二受光部相对于上述第一受光部被定位成上述第二受光部的中心比上述第一受光部的上述中心靠近上述激光照射区域的外缘。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的光束分析仪，其特征在于，

还具备激光功率运算部，该激光功率运算部基于来自上述多个激光强度传感器的输出来计算由上述多个受光部接收到的上述激光的激光功率。

7.根据权利要求6所述的光束分析仪，其特征在于，

还具备激光功率判断部，该激光功率判断部判断上述激光功率是否处于预先决定的阈值的范围内。

8.根据权利要求7所述的光束分析仪，其特征在于，

上述激光功率运算部计算来自上述多个激光强度传感器的输出之和，

上述激光功率判断部判断上述和是否处于预先决定的阈值的范围内。

9.根据权利要求1～3、7～8中的任一项所述的光束分析仪，其特征在于，还具备分布计算部，该分布计算部基于来自上述多个激光强度传感器的上述输出，来计算上述激光的强度分布。

10.根据权利要求9所述的光束分析仪，其特征在于，

还具备分布判断部，该分布判断部判断上述激光的强度分布是否处于预先决定的阈值的范围内。

11.根据权利要求10所述的光束分析仪，其特征在于，

上述多个受光部具有第二受光部，该第二受光部与上述第一受光部热绝缘，

上述分布判断部判断上述第一输出是否处于第一上述阈值的范围内，并且判断来自安装于上述第二受光部的上述激光强度传感器的第二输出是否处于第二上述阈值的范围内。

12.根据权利要求10或11所述的光束分析仪，其特征在于，

还具备警告生成部，在上述分布判断部判断为上述激光的强度分布不处于预先决定的阈值的范围内、且上述光轴偏移判断部判断为上述第一输出是最大的情况下，该警告生成部生成针对用户的第一警告，

在上述分布判断部判断为上述激光的强度分布不处于预先决定的阈值的范围内、且上述光轴偏移判断部判断为上述第一输出不是最大的情况下，该警告生成部生成与第一警告不同的第二警告。

13.一种激光加工装置，具备：

根据权利要求1～12中的任一项所述的光束分析仪；以及

上述激光振荡器。