[发明专利]曲率测定装置以及曲率测定方法

权利要求书

1.一种具有射出激光的光射出部的曲率测定装置，其特征在于，还具备：

第一偏光分光器，将由所述光射出部射出的所述激光分离成偏光方向以及行进方向分别不同的第一激光以及第二激光；

反射部，对所述第一激光以及所述第二激光中的任一方进行反射，以使所述第一激光以及所述第二激光并行地朝测定对象物行进；

第二偏光分光器，使由所述测定对象物镜面反射的所述第一激光以及所述第二激光中的任一方透射，将另一方朝与该一方的行进方向不同的方向反射；

一维的第一位置检测元件，对由所述第二偏光分光器反射或者透射了所述第二偏光分光器的所述第一激光的入射位置进行检测；以及

一维的第二位置检测元件，对透射了所述第二偏光分光器或者由所述第二偏光分光器反射的所述第二激光的入射位置进行检测。

2.一种具有射出激光的光射出部的曲率测定装置，其特征在于，还具备：

第一偏光分光器，将由所述光射出部射出的所述激光分离成偏光方向以及行进方向分别不同的第一激光以及第二激光；

反射部，对所述第二激光进行反射，以使所述第一激光以及所述第二激光并行地朝测定对象物行进；

第二偏光分光器，使朝向所述测定对象物行进的所述第一激光以及所述第二激光中的任一方透射；

1/4波长板，使朝向所述测定对象物行进的所述第一激光以及所述第二激光通过，并使由所述测定对象物镜面反射的所述第一激光以及所述第二激光通过；以及

第一位置检测元件以及第二位置检测元件，对由所述测定对象物镜面反射而通过所述1/4波长板的所述第一激光以及所述第二激光各自的入射位置分别进行检测。

3.如权利要求2所述的曲率测定装置，其特征在于，

在朝向所述测定对象物行进的所述第一激光透射所述第二偏光分光器的情况下，所述第二偏光分光器对由所述测定对象物镜面反射而通过所述1/4波长板的所述第一激光进行反射，所述反射部对由所述测定对象物镜面反射而通过所述1/4波长板的所述第二激光进行反射，所述第一位置检测元件对由所述第二偏光分光器反射的所述第一激光的入射位置进行检测，所述第二位置检测元件对由所述反射部反射的所述第二激光的入射位置进行检测。

4.如权利要求2所述的曲率测定装置，其特征在于，

在朝向所述测定对象物行进的所述第二激光透射所述第二偏光分光器的情况下，所述第一偏光分光器对由所述测定对象物镜面反射而通过所述1/4波长板的所述第一激光进行反射，所述第二偏光分光器对由所述测定对象物镜面反射而通过所述1/4波长板的所述第二激光进行反射，所述第一位置检测元件对由所述第一偏光分光器反射的所述第一激光的入射位置进行检测，所述第二位置检测元件对由所述第二偏光分光器反射的所述第二激光的入射位置进行检测。

5.如权利要求1或2所述的曲率测定装置，其特征在于，

还具备计算部，该计算部计算由所述第一位置检测元件检测到的所述第一激光的入射位置的位移量与由所述第二位置检测元件检测到的所述第二激光的入射位置的位移量之差，根据该计算出的差与所述第一激光以及所述第二激光各自的光路长度之间的相关，来计算所述测定对象物的曲率变化量。

6.一种具有通过光射出部射出激光的工序的曲率测定方法，其特征在于，还具有：

通过第一偏光分光器将由所述光射出部射出的所述激光分离成偏光方向以及行进方向分别不同的第一激光以及第二激光的工序；

通过反射部对所述第一激光以及所述第二激光中的任一方进行反射，以使所述第一激光以及所述第二激光并行地朝测定对象物行进的工序；

通过第二偏光分光器使由所述测定对象物镜面反射的所述第一激光以及所述第二激光中的任一方透射，将另一方朝与该一方的行进方向不同的方向反射的工序；

通过一维的第一位置检测元件对由所述第二偏光分光器反射或者透射了所述第二偏光分光器的所述第一激光的入射位置进行检测的工序；以及

通过一维的第二位置检测元件对透射了所述第二偏光分光器或者由所述第二偏光分光器反射的所述第二激光的入射位置进行检测的工序。