[发明专利]脆性材料基板的搬送方法及搬送装置

权利要求书

1.一种脆性材料基板的搬送方法，其是搬送脆性材料基板的搬送方法，

所述脆性材料基板在一面具有沿着纵向及横向以规定的间距形成的功能区域，且涂布着树脂，且沿着以所述功能区域位于中心的方式形成为格子状的划线而裂断，仅所述脆性材料基板的部分沿着所述划线分断，所述树脂的层保持原状残留，

使用抽风器从搬送头的开口以空气始终从所述开口流入所述搬送头的内部的方式吸入空气，吸引所述脆性材料基板的包含形成为格子状的功能区域的区域，

通过使所述搬送头移动，而搬送所述脆性材料基板。

2.一种脆性材料基板的搬送装置，其是搬送脆性材料基板的搬送装置，

所述脆性材料基板在一面具有沿着纵向及横向以规定的间距形成的功能区域，且涂布着树脂，且沿着以所述功能区域位于中心的方式形成为格子状的划线而裂断，仅所述脆性材料基板的部分沿着所述划线分断，所述树脂的层保持原状残留，且具备：

线性滑块，设置于梁；

搬送头，构成为沿着所述线性滑块移动自如；

弹性片，安装在所述搬送头的下表面且具有与所述脆性材料基板的各功能区域对应的开口；以及

抽风器，从所述搬送头的弹性片的开口以空气始终从所述开口流入所述搬送头的内部的方式抽吸空气。

3.根据权利要求2所述的脆性材料基板的搬送装置，其中

所述搬送头具备：

头部；

导管，将所述抽风器与所述头部连结；以及

升降机构，其将所述头部上下移动自如地保持；

所述头部具备：

壳体部，连接着所述导管，且下表面敞开；

底板，具有以与所述脆性材料基板的功能区域对应的方式排列在所述壳体部的下表面并与所述壳体的内部连通的开口；以及

弹性片，贴附在所述底板的下表面，且具有排列在与底板的开口对应的位置的开口。