[发明专利]一种基于磁性薄膜的电磁吸波体结构及其设计方法在审
申请号: | 201510138232.8 | 申请日: | 2015-03-27 |
公开(公告)号: | CN104716440A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 陆海鹏;董晨;周佩珩;王昕;邓龙江;陈海燕;谢建良;梁迪飞;陈良 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01Q17/00 | 分类号: | H01Q17/00 |
代理公司: | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人: | 张杨 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 磁性 薄膜 电磁 吸波体 结构 及其 设计 方法 | ||
1.一种多层图形化磁性薄膜电磁吸波体,底层为金属平板,其特征在于:底层以上为正方形柔性衬底和图形化磁性薄膜的多层堆叠复合单元结构;其中正方形柔性衬底和磁性薄膜中心重合,磁性薄膜单元为边长小于衬底的正方形,二者构成回字形图形化结构;多层堆叠复合单元结构的总厚度H=(L+D)*n≤0.5mm,其中10≤n≤100,柔性衬底厚度为D≤50μm,磁性薄膜厚度L≤0.5μm;磁性薄膜单元的边长A≤1cm,磁性薄膜与柔性衬底的间隙为R,膜隙比10:5≤A/R≤15:1;其中柔性衬底的相对介电常数为2.5,相对磁导率为1。
2.如权利要求1所述多层图形化磁性薄膜电磁吸波体的设计方法,包括下列步骤:
步骤一、对柔性衬底进行裁剪,将其裁剪成边长为M的正方形,M=A+R,A≤1cm,膜隙比10:5≤A/R≤15:1;
步骤二、采用磁控溅射的方法,在柔性衬底表层镀上FeCo基磁性材料,在其表面形成一层的磁性薄膜,其厚度L≤0.5μm,得到柔性衬底与磁性薄膜构成的单层单元结构;
步骤三、先将步骤二所制备的单层单元结构平整的粘贴在金属平板上,然后再将多个单层单元结构依次堆叠的粘贴成多层复合单元结构,得到多层图形化磁性薄膜电磁吸波体。
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