[发明专利]一种高精度的曝光装置在审
申请号: | 201510139151.X | 申请日: | 2015-03-28 |
公开(公告)号: | CN104808449A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 张梦莹 | 申请(专利权)人: | 南京市雨花台区知识产权促进中心 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210012 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高精度 曝光 装置 | ||
1.一种高精度的曝光装置,其特征在于:所述的高精度的曝光装置包括机台、自动传输装置、菲林支架、水平仪和固定槽,所述的自动传送装置安装在机台上,所述的固定槽置于自动传送装置上,所述的菲林支架固定在机台的某段,所述的水平仪在菲林支架区域的正下方的机台下。
2.根据权利要求1所述的菲林支架,其特征在于:所述的菲林支架由四根不锈钢支架构成,支架的高度可根据实际情况自动调节伸缩。
3.根据权利要求1所述的菲林支架,其特征在于:所述的菲林支架的四根不锈钢支架均在某段内置磁铁装置,可将菲林四个角卡在钢管的磁铁段上,起到固定菲林的作用。
4.根据权利要求1所述的水平仪,其特征在于:所述的水平仪是红外线激光水平仪,通过水平仪的激光红外感应,传输到菲林支架上,四个支架自动调节本身的高度,达到水平效果。
5.根据权利要求1所述的自动传送装置,其特征在于:所述的自动传送装置可以控制ITO传送速度与停止的时间。
6.根据权利要求1所述的固定槽,其特征在于:所述的固定槽安装在自动传送带上,可以随时拆卸,固定槽是防止被曝光物受外力影响而偏移曝光位置。
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