[发明专利]一种非晶硅太阳电池玻璃基底的激光钻孔方法有效
| 申请号： | 201510140907.2 | 申请日： | 2015-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN104722932A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 王振华;谢建;郑付成;邹建军;黄东海;黄秋香;张峻诚;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/402 |
| 代理公司： | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 非晶硅 太阳电池 玻璃 基底 激光 钻孔 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种非晶硅太阳电池玻璃基底的激光钻孔方法，其特征在于，将镀有膜层的玻璃基底的膜面朝上放置，然后从待钻通孔的边缘向内清除一个圆环内的膜层，然后在清除膜层的圆环内，激光从玻璃基底的下表面向上进行分层钻孔。
2.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，清除一个圆环内的膜层时，激光的焦点位于所述玻璃基底的上表面下方0.5-1mm处。
3.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，分层钻孔时，激光按螺旋轨迹或同心圆轨迹或内摆线轨迹进行加工。
4.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，分层钻孔前，需要先设置激光加工的焦点下限点、焦点上限点和焦点间距。
5.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，所述玻璃的底部设有集尘装置。
6.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，采用变倍扩束镜系统改变焦点的位置，所述变倍扩束镜系统包括可在轴线上相互移动的凹透镜和凸透镜组成的透镜组。
7.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，所述激光的发生器为绿光纳秒激光器。
8.如权利要求7所述的激光钻孔方法，其特征在于，激光的脉宽小于15ns。
9.如权利要求7所述的激光钻孔方法，其特征在于，激光的功率大于8W。
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