[发明专利]一种利用玻璃掺杂钆靶获得高光谱纯度极紫外光源的方法有效
| 申请号： | 201510141270.9 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN106158576B | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 林景全;陶海岩;窦银萍 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | H01J65/04 | 分类号： | H01J65/04 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王戈 |
| 地址： | 130022 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 玻璃 掺杂 获得 光谱 纯度 紫外 光源 方法 | ||
【权利要求书】：
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