[发明专利]压电元件、液体喷射头、液体喷射装置和传感器

权利要求书

1.一种压电元件，其特征在于，具备第1电极、隔着晶种层设置于所述第1电极的压电体层以及设置于所述压电体层的第2电极，

所述晶种层由具有钙钛矿结构且A位点含有铋、B位点含有铁和钛的在(100)面优先取向的复合氧化物构成，

所述压电体层由具有钙钛矿结构且在(100)面优先取向的压电材料构成，

所述晶种层的厚度小于20nm。

2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述晶种层设置成岛状，所述岛状是未全面膜化，结晶分离或独立存在的状态。

3.根据权利要求1或2所述的压电元件，其中，所述晶种层的占有率为30％以上。

4.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述第1电极由在(111)面优先取向的铂构成，来源于所述(111)面的基于X射线衍射法的衍射峰的半峰宽为10度以下。

5.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述A位点的铋与所述B位点的铁和钛的摩尔比即铋/(铁和钛)为1.0～1.4的范围。

6.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，所述B位点的铁与钛的摩尔比即铁/钛为9/11～3.0的范围。

7.一种液体喷射头，其特征在于，具有权利要求1～6中任一项所述的压电元件。

8.一种液体喷射装置，其特征在于，具备权利要求7所述的液体喷射头。

9.一种传感器，其特征在于，具备权利要求1～6中任一项所述的压电元件。