[发明专利]一种硅片脱胶剂、其制造方法和使用方法

权利要求书

1.一种硅片脱胶剂，其特征在于：其含有如下重量份数的组分，

2.如权利要求1所述的一种硅胶脱胶剂，其特征在于：所述的有机酸为丁二酸、2-羟基丁二酸、2，3-二羟基丁二酸、2-羟基膦酰基乙酸、羟基乙叉膦酸、柠檬酸、乙醇酸、乙酰丙酸、乳酸、草酸中的一种或几种混合物。

3.如权利要求1所述的一种硅胶脱胶剂，其特征在于：所述的表面活性剂为异构醇聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、椰子油磷酸酯甜菜碱、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基硫酸钠、烷基二苯醚二磺酸盐中的一种或几种。

4.如权利要求1所述的一种硅胶脱胶剂，其特征在于：所述的有机溶剂为丙三醇、二丙酮醇、1，6-己二醇、2，2-二羟甲基丁醇、二缩三乙二醇、一缩二丙二醇中的一种或几种。

5.如权利要求1所述的一种硅胶脱胶剂，其特征在于：所述的缓蚀剂为咪唑啉、乌洛托品、聚天冬氨酸、苯并三氮唑中的一种或几种。

6.如权利要求1所述的一种硅胶脱胶剂，其特征在于：所述的消泡剂为高碳醇脂肪酸酯复合物、聚氧乙烯聚氧丙烯季戊四醇醚、聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚、聚氧丙烯甘油醚和聚氧丙烯聚氧乙烯甘油醚、聚二甲基硅氧烷中的一种或几种。

7.一种制备如权利要求1所述的硅胶脱胶剂的方法，其特征在于：称取如权利要求1所述比例的物料，在室温下进行搅拌混合3小时。

8.一种使用如权利要求1所述的硅胶脱胶剂的方法，其特征在于：

1)在称取如权利要求1所述的脱胶剂，并添加水溶液混合成浓度为5％～95％的脱胶液，并上述获取的混合液进行加热至至40～80℃，然后将硅片放入上述混合液内脱胶200s～1000s；

2)取出步骤1中混合液内的硅片。

9.一种使用如权利要求8所述的硅胶脱胶剂的方法，其特征在于：所述的步骤2中的混合液温度为50℃～65℃。

10.一种使用如权利要求8所述的硅胶脱胶剂的方法，其特征在于：所述的脱胶液的浓度为10％～30％。