[发明专利]一种高效、节能金属图形线路速成的EPT在审
申请号: | 201510141877.7 | 申请日: | 2015-03-24 |
公开(公告)号: | CN104733359A | 公开(公告)日: | 2015-06-24 |
发明(设计)人: | 王春 | 申请(专利权)人: | 王春 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H05K3/10 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 226300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 节能 金属 图形 线路 速成 ept | ||
1.一种高效、节能金属图形线路速成的EPT,包括新型定位印刷机台、图形线路网版、环保掩膜胶体和PVD真空溅镀技术的结合。
2.根据权利要求1所述的一种高效、节能金属图形线路速成的EPT,其特征在于,新型定位印刷机台主要是由基座、微调平台、网版固定架组成。
3.根据权利要求1和2所述的一种高效、节能金属图形线路速成的EPT,其特征在于,新型定位印刷机台的基座的四个侧面有微调螺丝,微调平台嵌入在基座内并保留一定间隙,便于调整微调平台和网版固定架相适度;基座的上表面设有网版固定架的定位脚。
4.根据权利要求1和3所述的一种高效、节能金属图形线路速成的EPT,其特征在于,新型定位印刷机台微调平台上有基板相适的定位凹沟,基板定位凹沟数量是奇数或者偶数,凹槽二侧设有取物凹槽。
5.根据权利要求1所述的一种高效、节能金属图形线路速成的EPT,其特征在于,环保掩膜胶体主要由水性树脂、乙基纤维素、二氧化硅、水合成在一起,通过30℃-40℃的低温固化或常温表干,在环保掩膜胶体在基板表面形成薄膜层。
6.根据权利要求1和5所述的一种高效、节能金属图形线路速成的EPT,其特征在于,环保掩膜胶体在基板表面形成的薄膜层,通过普通水源浸泡,薄膜层就会软化脱落,基板表面就会形成金属图形线路。
7.根据权利要求1所述的一种高效、节能金属图形线路速成的EPT,其特征在于,基板表面未有环保掩膜胶体层的区域产生金属层,采用PVD真空溅镀技术实现。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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