[发明专利]一种玻璃基底带倒角通孔的激光钻孔方法在审
| 申请号： | 201510142601.0 | 申请日： | 2015-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN104759759A | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 王振华;郑付成;黄秋香;谢建;黄东海;乐安新;张峻诚;陶尚辉;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/361 | 分类号： | B23K26/361;B23K26/382;B23K26/402;B23K26/08;B23K26/70 |
| 代理公司： | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 基底 倒角 激光 钻孔 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种玻璃基底带倒角通孔的激光钻孔方法，其特征在于，将激光待钻的通孔分为多个加工层，从玻璃基底下表面向上逐层加工，每个加工层的加工轨迹为内摆线轨迹；从基底底部下表面的加工层开始，位于上方的加工层的直径不断减小直到符合倒角的锥度要求后，按照固定的直径加工直到贯穿整个玻璃基底。
2.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，钻孔的同时，激光的焦点移动到加工对应的加工层。
3.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，采用变倍扩束镜系统改变焦点的位置，所述变倍扩束镜系统包括可在轴线上相互移动的凹透镜和凸透镜组成的透镜组。
4.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，所述倒角面为弧面。
5.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，所述激光的发生器为绿光纳秒激光器。
6.如权利要求5所述的激光钻孔方法，其特征在于，激光的脉宽小于15ns。
7.如权利要求5所述的激光钻孔方法，其特征在于，激光的功率大于8W。
8.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，多个加工之间设有间隔层。
9.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，所述内摆线轨迹为三尖瓣线轨迹或四尖瓣线轨迹。
10.如权利要求1所述的激光钻孔方法，其特征在于，所述激光钻孔采用的镜头为远心镜头。
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