[发明专利]一种坩埚在审
申请号: | 201510142843.X | 申请日: | 2015-03-27 |
公开(公告)号: | CN104694883A | 公开(公告)日: | 2015-06-10 |
发明(设计)人: | 李彦松 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 坩埚 | ||
1.一种坩埚,包括:坩埚本体,所述坩埚本体具有中空腔室,所述坩埚本体的第一端密封,第二端具有与其中空腔室连通的开口;其特征在于,还包括:
至少一个导热件,每个导热件位于所述中空腔室内、将所述中空腔室划分成多个容料区域。
2.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,所述每个导热件沿所述坩埚本体的第一端向所述坩埚本体的第二端延伸。
3.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述每个导热件为长方形导热板,每个长方形导热板上设有至少一个漏孔。
4.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述导热件为四个,四个所述导热件将所述坩埚本体的中空腔室平分成四个所述容料区域。
5.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述导热件为三个,三个所述导热件两两之间的连接处围成的角度为120度。
6.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述每个导热件为导热柱,且所述导热柱垂直于所述第一端。
7.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,所述每个导热件沿所述坩埚本体的高度方向将所述中空腔室划分为多个容料区域,其中:所述高度方向为:所述第一端指向所述第二端的方向或所述第二端指向所述第一端的方向。
8.根据权利要求7所述的坩埚,其特征在于,所述每个导热件为板状,且与所述坩埚本体的第一端或第二端的内表面平行,每个板状的导热件上设有至少一个漏孔和一个与所述开口同心的通孔。
9.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,每个所述导热件与所述坩埚本体为一体式成型结构或每个所述导热件焊接于所述坩埚本体的中空腔室内。
10.根据权利要求1~9任一项所述的坩埚,其特征在于,每个所述导热件的导热系数大于或等于所述坩埚本体的导热系数。
11.根据权利要求10所述的坩埚,其特征在于,所述坩埚本体为圆柱体结构或立方体结构。
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