[发明专利]碱性化学抛光方法及其采用的碱性化学抛光液有效
| 申请号： | 201510143972.0 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN104694931B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 马迪;李树白;徐龙贵;戈浩 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | C23F3/02 | 分类号： | C23F3/02 |
| 代理公司： | 常州市江海阳光知识产权代理有限公司32214 | 代理人： | 孙晓晖 |
| 地址： | 213001 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碱性 化学抛光 方法 及其 采用 | ||
【权利要求书】：
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