[发明专利]测试分选机及其推进装置、测试托盘以及测试机用接口板

说明书

本发明涉及一种测试分选机及其推进装置、测试托盘以及测试机用接口板。根据本发明的测试分选机具有接触部分，该接触部分电接触于半导体元件的表面以用于测量半导体元件的表面电阻，测试机用接口板具有测量端子，该测量端子能够与接触部分电连接并输出可用于测量半导体元件的表面电阻的信号。其中，测试分选机的接触部分也可以配备于推进装置或测试托盘之类的配件中。根据本发明，由于连半导体元件的表面电阻也可以测量，因此可提高测试的可靠性。

技术领域

本发明涉及一种使用于半导体元件的测试的测试分选机、作为测试分选机的配件的推进装置和测试托盘、以及测试机的接口板。

背景技术

测试分选机将制造的半导体元件电连接于测试机。另外，测试分选机根据测试结果而将半导体元件进行分类。关于测试分选机可参考韩国公开专利2012-0106320号(以下，称为“第一引用文献”)等。

为了将半导体元件电连接于测试机，测试分选机具有测试托盘和推进装置。

测试托盘可承载半导体元件。半导体元件被安置在配备于测试托盘的插入件中。如韩国公开专利10-2011-0011462号(以下，称为“第二引用文献”)所记载，插入件具有用于固定安置的半导体元件的闩锁装置。闩锁装置由固定杠杆(第二引用文献中命名为“闩锁部件”)和弹性部件(第二引用文献中命名为“复原弹簧”)构成。固定杠杆通过正反向旋转而固定半导体元件或解除固定。弹性部件朝向使固定杠杆固定半导体元件的正方向施加弹性力。应予说明，当固定杠杆解除对半导体元件的固定时，借助于专门的开放装置而对固定杠杆施加反方向的外力。

推进装置推动承载于测试托盘的半导体元件而使半导体元件电连接于测试机的接口板。如第一引用文献所记载，推进装置由推进器(第一引用文献中命名为“推进单元”)、推进器设置板(第一引用文献中命名为“设置板”)以及移动源构成。推进器用于与接口板的测试插座对向而支撑半导体元件或者对半导体元件加压。推进器设置板设置有推进器。移动源用于使推进器设置板向接口板移动，或者使推进器设置板朝反方向移动。

接口板通常是以与测试机的主体分离的状态结合于测试分选机。如韩国公开实用新型2009-0002814号所记载，接口板具有能够与半导体元件电连接的测试插座。因此，得到推进器的支撑或加压的半导体元件电连接于测试插座。

所述测试托盘、推进装置和接口板的关系可参考第一引用文献的参照图2进行的说明。

另外，半导体元件受到外界的电气影响而可能发生误操作。这样的问题可能随着电子部件的密集度增加而频繁出现。尤其，近来由于需要实现电子产品的多样的功能，因此电子部件的密集度较高。因此，对半导体元件的表面进行屏蔽处理。在半导体元件的表面进行处理的屏蔽层保护半导体元件免受源于外界的电气作用的不利影响。即，通过接地的屏蔽层而消除外界的电气作用。

制作屏蔽层的一种方法就是利用较薄的金属板而覆盖半导体元件的表面。然而，利用金属板覆盖半导体元件表面的工艺繁琐，从而使生产效率降低。

制作屏蔽层的另一种方法则是利用导电性材料涂覆半导体元件的表面。这种方法工艺简单且生产性良好。然而，如果存在涂覆不良就会遇到难以确认的麻烦。

涂覆不良不会对半导体元件的电学特性测试产生影响。因此，测试合格却涂覆不良的半导体元件可能被应用于电子产品。在此情况下，涂覆不良可能会扩大为电子产品自身的不良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可在检查半导体元件的电学特性的过程中确认半导体元件的表面是否恰当地形成屏蔽层的技术。